[发明专利]一种准一维金属氧化物纳米材料的制备方法

权利要求书

1.一种准一维金属氧化物纳米材料的制备方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：

1)采用普通透明胶带对高定向热解石墨进行微机械剥离后，将其放置在原子层沉积设备的生长腔内，准备进行纳米线生长；

2)将需要进行反应的原材料三甲基铝、双氧水装入反应源中，反应温度设定为150℃，抽真空至8mTorr后启动程序自动控制反应过程；采用高纯N₂作为反应辅助气氛，保证在反应腔中不会发生反应物氧化的现象；

3)纳米线生长过程中，通过电阻丝加热方式使反应腔的温度稳定在预先设定的反应温度，反应源三甲基铝的反应和冲洗时间分别为：4s、20s，双氧水的反应和冲洗时间分别为0.2s、45s，通过设定的程序使反应重复进行；

4)氧化铝纳米线的高度及宽度，通过控制反应周次进行控制。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的微机械剥离将胶带粘着在高定向热解石墨的表面上，均匀用力将热解石墨最外层撕掉，暴露出其新鲜表面。