[发明专利]电子显微镜的物镜消像散器

说明书

技术领域

本发明涉及一种电子显微镜的物镜消像散器，更特别地说，是指一种消除物镜极靴磁感应强度不均匀性的装置。

背景技术

人们对微观物质的观察是无限的，电子显微镜就是一种可以观察微小物质的重要仪器，它可以观察0.25nm以下的物质。电子显微镜以电子束作为照明光源，以磁透镜或静电透镜作为偏转电子的装置，实现光学放大。电子显微镜在物理、化学、材料、科学研究、生命科学、地质、探矿、机械工业、电子工业等军民领域具有非常广泛的应用前景。

实际的磁透镜不可能做成完全轴对称的。由于极靴材料分布不均匀，加工上存在一定椭圆度，上下极靴之间配合的不同轴，几个透镜之间合轴不好，都会使透镜在某一方位聚集性能较强一些，而与此相垂直的方位，聚集性能弱一些。这种由于透镜性能不是轴对称而引起图像的分散称之为像散。另外物镜光阑的污染也会引起静电积累，同样也产生像散。对此，一般采用消像散器对这些像散进行纠正。但是，目前各种消像散器中，大都存在有如下问题：机械结构设计比较复杂、容易污染、清洗不方便等特点。

发明内容

本发明针对目前存在的消像散器结构比较复杂、容易污染等问题，提出一种电子显微镜的物镜消像散器。

本发明的一种电子显微镜的物镜消像散器，包括屏蔽磁套、螺套、隔圈组件、螺圈、接线螺圈、电磁消像散器组件、保护套、第一固定光栏和第二固定光栏。电磁消像散器组件包括线圈支架和线圈框，在线圈支架靠近中间位置的周向上设置有凸台用于限位，线圈框固定在线圈支架的右端口，且在线圈框上缠绕有消像散线圈。

螺圈和接线螺圈都采用螺纹套接在线圈支架上，接线螺圈位于凸台的左侧，螺圈位于接线螺圈的左侧，保护套罩在线圈框的外部，用于保护缠绕在线圈框上的消像散线圈，保护套左端口螺纹连接在接线螺圈上，第一固定光栏的左端通过保护套右端的开口伸入线圈支架的中心通孔中，且第一固定光栏的右端螺纹连接第二固定光栏，隔圈组件的固定圈套在线圈支架上，位于螺圈的左侧，螺套的右端螺纹连接在线圈支架的左端，通过将螺套与螺圈旋转拧紧，将固定圈固定在线圈支架上，从而将隔圈组件与电磁消像散器组件固定一起，隔圈组件的左端通过螺纹连接与屏蔽磁套固定一起。屏蔽磁套将消像散线圈所产生的磁路屏蔽在内部，隔圈组件将物镜所产生的磁路与电磁消像散器组件所产生的磁路隔开。

本发明电子显微镜的物镜消像散器的优点与积极效果在于：(1)本发明的物镜消像散器采用电磁式消像散，电磁式相对于静电式与静磁式消像散具有结构简单、不易污染、使用方便等优点；(2)采用接线螺圈，将线包的线引出，可靠、效果好；(3)消像散线包外侧装有保护套有安全保护效果；(4)屏蔽磁套与隔圈组件将消像散所产生的磁路限制在一个很小的范围内，增强了消像散的功能。

附图说明

图1是本发明物镜消像散器的整体外观示意图；

图2是本发明物镜消像散器的轴向剖面上整体结构连接的示意图；

图3是本发明物镜消像散器中处于屏蔽磁套与隔圈组件里面的部件结构连接示意图；

图4是图3中所示部件的轴向剖面的结构连接示意图；

图5是电磁消像散器组件的示意图；

图6是图5的电磁消像散器组件的轴向剖面结构示意图；

图7是隔圈组件的轴向剖面示意图；

图8是固定圈的整体结构示意图；

图9是接线螺圈的示意图；

图10是保护套的轴向剖面结构示意图；

图11是两个固定光栏的结构示意图；

图12是八个消像散线圈工作原理图。

图中：

1-屏蔽磁套；2-螺套；3-隔圈组件；4-螺圈；5-接线螺圈；6-电磁消像散器组件；7-保护套；8-第一固定光栏；9-第二固定光栏；10-隔圈；11-固定圈；12-物镜下磁路圈；13-线圈支架；14-线圈框；15-线圈支架上的凸台；16-接线螺圈上的通孔。

具体实施方式

下面将结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。

如图1、图2、图3和图4所示，本发明的物镜消像散器包括如下部件：屏蔽磁套1、螺套2、隔圈组件3、螺圈4、接线螺圈5、电磁消像散器组件6、保护套7、第一固定光栏8和第二固定光栏9。