[发明专利]电子显微镜的物镜消像散器

权利要求书

1.一种电子显微镜的物镜消像散器，其特征在于，该物镜消像散器包括同轴心的如下部件：屏蔽磁套(1)、螺套(2)、隔圈组件(3)、螺圈(4)、接线螺圈(5)、电磁消像散器组件(6)、保护套(7)、第一固定光栏(8)和第二固定光栏(9)；所述的电磁消像散器组件(6)包括线圈支架(13)和线圈框(14)，在线圈支架(13)靠近中间位置的周向上设置有凸台(15)用于限位，线圈框(14)固定在线圈支架(13)的右端口，且在线圈框(14)上缠绕有消像散线圈；

螺圈(4)和接线螺圈(5)都采用螺纹套接在线圈支架(13)上，接线螺圈(5)位于凸台(15)的左侧，螺圈(4)位于接线螺圈(5)的左侧，保护套(7)罩在线圈框(14)的外部，用于保护缠绕在线圈框(14)上的消像散线圈，保护套(7)左端口螺纹连接在接线螺圈(5)上，第一固定光栏(8)的左端通过保护套(7)右端的开口伸入线圈支架(13)的中心通孔中，且第一固定光栏(8)的右端螺纹连接第二固定光栏(9)，隔圈组件(3)的固定圈(11)套在线圈支架(13)上，位于螺圈(4)的左侧，螺套(2)的右端螺纹连接在线圈支架(13)的左端，通过将螺套(2)与螺圈(4)旋转拧紧，将固定圈(11)固定在线圈支架(13)上，从而将隔圈组件(3)与电磁消像散器组件(6)固定一起，隔圈组件(3)的左端通过螺纹连接与屏蔽磁套(1)固定一起，所述的屏蔽磁套(1)将消像散线圈所产生的磁路屏蔽在内部，所述的隔圈组件(3)将物镜所产生的磁路与电磁消像散器组件(6)所产生的磁路隔开。

2.根据权利要求1所述的一种电子显微镜的物镜消像散器，其特征在于，所述的线圈支架(13)为一圆筒形，右端口周向上均匀位置开有八个凹槽，在每个凹槽中固定设置有一个线圈框(14)，在线圈框(14)上缠绕有消像散线圈。

3.根据权利要求2所述的一种电子显微镜的物镜消像散器，其特征在于，所述消像散线圈为漆包线，通过粘合剂固定在线圈框(14)上。

4.根据权利要求3所述的一种电子显微镜的物镜消像散器，其特征在于，所述的粘合剂采用环氧树脂胶。

5.根据权利要求1所述的一种电子显微镜的物镜消像散器，其特征在于，所述的隔圈组件(3)包括隔圈(10)、固定圈(11)和物镜下磁路圈(12)，物镜下磁路圈(12)的左端插入隔圈(10)的右端口，且过盈配合，固定圈(11)嵌入物镜下磁路圈(12)的中心孔中，且过盈配合。

6.根据权利要求1所述的一种电子显微镜的物镜消像散器，其特征在于，所述的接线螺圈(5)整体为一圆柱型结构，轴向开有中心孔，中心孔螺纹连接在线圈支架(13)上，在接线螺圈(5)靠近外边沿的一周上均匀分布有八个轴向通孔(16)，缠绕在线圈框(14)上的消像散线圈通过轴向通孔(16)引出。

7.根据权利要求1所述的一种电子显微镜的物镜消像散器，其特征在于，所述的接线螺圈(5)采用聚砜树脂材料制造。

8.根据权利要求1所述的一种电子显微镜的物镜消像散器，其特征在于，所述的屏蔽磁套(1)采用DT4C纯铁制造。

9.根据权利要求1所述的一种电子显微镜的物镜消像散器，其特征在于，所述的保护套(7)采用型号为QSn6.5-0.1(Y)的锡青铜棒制造。