[发明专利]检查系统、模拟方法及系统、恰当值的判定及确定方法

说明书

技术领域

本发明涉及以分别实施最终检查和中间检查为前提来判定在检查中间品中使用的判定基准值是否适当的方法，所述最终检查用于检查经由多个工序形成的最终形态品，所述中间检查用于检查在最终的工序之前的工序中形成的中间品。另外，本发明涉及求出在检查中间品中使用的判定基准值的恰当值的方法以及应用该方法的部件安装基板的检查系统、利用判定基准值模拟部件安装基板的生产性成为何种程度的计算机系统。

背景技术

一般而言，通过锡膏的印刷工序、部件安装工序及回流(reflow)工序的各工序生产部件安装基板。近年来的生产作业线具有导入了基板检查系统的生产作业线，该基板检查系统是指，针对每个工序配备检查机，通过将各检查机的检查结果汇集到信息处理装置中，能够对每个同一对象进行对照来进行确认的基板检查系统(例如参照专利文献1)。

在以往的基板检查系统中，各检查机分别基于设定在自身装置中的检查程序来对被检查部位实施计测，并通过将所取得的计测值与登录的判定基准值进行对照来判定良好/不良。因此，存在在锡膏印刷工序或部件安装工序的检查机中判定为不良的部位在由最终的回流工序的检查机进行的最终检查中判定为良好的情况以及产生与其相反的结果的情况。

若中间检查结果和最终检查结果的不匹配的频度高，则实施中间检查的优点就变小，从而找不到为了检查特意花费成本的意义。特别地，在去除在中间检查中检测出不良的基板或者为了检查而停止生产作业线的情况下，若在最终检查中判定为良品的基板在中间检查中被判定为不良的频度变高，则不仅是成本，在处理时间上也产生很大的损失。

与此相对，若中间检查结果和最终检查结果的匹配的频度高，则能够在中间检查的阶段中高精度地判别能够成为不良的产品，因而能够提高生产效率。从而，希望调整在中间检查中使用的判定基准值，使得尽量提高两个检查的结果的匹配性。

关于上述课题，在专利文献2及专利文献3中记载有如下技术，该技术是指，基于中间检查的计测值和中间检查及最终检查的各结果的关系来实施运算处理，由此设定适当的判定基准值的技术。

首先，在专利文献2中记载有如下技术，该技术是指，一边按几个阶段变更对在中间检查中提取的特征量的判定基准值(在专利文献2中记载为“检查基准”)，一边求出根据该判定基准值进行检查时的合格率及不良率，并且，求出最终检查中的合格率及不良率，进而根据这些值求出再检查成本，并将再检查成本最小时的判定基准值的值设定为推荐值的技术(参照专利文献2的第0067～0068段等)。

并且，在专利文献2中记载有如下技术，该技术是指，为了选择适合于上述的判定基准值的再设定的检查项目，针对中间检查中的多个检查项目，分析通过计测处理求出的特征量的分布，由此求出在最终检查中判定为良好的分组和判定为不良的分组的分离度，并选择该分离度成为最大的检查项目作为再设定的候补的技术(参照专利文献2的段落0057～0066等)。

在专利文献3中记载有如下技术，该技术是指，将具有使用共用的判定基准值的部位，且在最终检查中得出了相同的判定结果(良好或不良)的多个基板作为对象，一边变更判定基准值，一边反复执行计算出在中间检查的计测处理中进行了与最终检查不同的判定的基板的个数的处理，并选择在计算出的基板的个数示出了特定的比率时的基准值来作为最佳值的技术，该特定的比率是指，与预先设定的判定不匹配的发生频度的容许值相对应的比率。

专利文献1：日本专利第3966336号公报

专利文献2：日本专利第4552749号公报

专利文献3：日本特开2008-10666号公报

在专利文献2及专利文献3记载的发明中，由于基于各检查结果的关系来分析在实际的计测处理中求出的计测值，因而为了得到高信赖度的结果，需要除了准备根据适当的判定基准值判定为良好的计测值之外，还需要准备相当个数的根据该判定基准值判定为不良的计测值。但是，由于实际上不发生那么多的不良，因而难以收集足够的个数的不良的样本。

发明内容

本发明关注该点将提供如下技术作为课题，该技术是指，通过基于对中间品的计测值和对由该中间品形成的最终形态品的计测值的相关关系的运算，即使在表示不良的实际的计测值少的情况下，也能够高精度地判定中间检查的判定基准值是否适当的技术。另外，本发明将提供如下技术作为课题，该技术是指，通过同样的运算处理，对于在中间检查中使用的判定基准值，确定能够充分地确保与最终检查结果的匹配性的数值。