[发明专利]检查系统、模拟方法及系统、恰当值的判定及确定方法

权利要求书

1.一种判定判定基准值是否恰当的方法，基于最终检查和中间检查的关系来判定在中间检查中使用的判定基准值是否恰当，所述最终检查用于检查经由多个工序形成的最终形态品，所述中间检查用于检查在最终的工序之前的工序中形成的中间品，其特征在于，

该方法包括：

第一步骤，对多个中间品以及由这些中间品形成的最终形态品，分别实施用于得到检查对象特征量的计测处理，并以将与同一物品相对应的计测值分组为同一组的方式组合各计测值，以此设定多个样本；

第二步骤，利用所述多个样本所表示的计测值的组合，来导出对所述中间品的计测值和对最终形态品的计测值之间的相关关系；

第三步骤，在对中间品的计测值能够分布的范围内设定多个运算对象点，并针对每个运算对象点实施第一运算处理和第二运算处理，在所述第一运算处理中，基于在所述第二步骤中导出的相关关系，来确定与运算对象点所表示的计测值相对应的最终形态品的计测值的分布图案，在所述第二运算处理中，基于该分布图案和在最终检查中使用的判定基准值的关系，来求出特定的最终形态品在最终检查中判定为良好的概率以及判定为不良的概率中的至少一个概率，所述特定的最终形态品是指，由得出了该运算对象点所表示的计测值的中间品形成的最终形态品；

第四步骤，基于在所述中间检查中使用的判定基准值，来将设定了所述运算对象点的范围分割成判定为良好的范围和判定为不良的范围，并针对每个范围，利用针对包含在该范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的概率，求出中间检查结果和最终检查结果的匹配程度以及不匹配程度；

第五步骤，基于在第四步骤中求出的各范围的匹配程度以及不匹配程度，来判断在中间检查中使用的判定基准值是否适当。

2.根据权利要求1记载的判定判定基准值是否恰当的方法，其特征在于，

在所述第二步骤中，导出对所述中间品的计测值和对最终形态品的计测值的回归直线；

在所述第三步骤的所述第一运算处理中，通过在所述回归直线的公式中应用与运算对象点相对应的计测值来求出最终形态品的计测值的平均值，并且，通过利用特定的修正函数修正所述回归直线的标准误差，来计算最终形态品的计测值的偏差，所述特定的修正函数是指，以所述多个样本所表示的对中间品的计测值的平均值与所述运算对象点所表示的计测值之差越大就使所述偏差的值越小的方式发挥功能的修正函数。

3.根据权利要求1记载的判定判定基准值是否恰当的方法，其特征在于，在所述第四步骤中，针对每个分割的范围，计算针对包含在该范围内的运算对象点通过所述第二运算处理计算出的概率的平均值，并基于计算结果，针对每个中间检查结果和最终检查结果的组合，计算该组合的发生概率。