[发明专利]抛光刷，抛光方法，抛光装置及磁盘用玻璃基板的制造方法

说明书

本申请是申请号为2006800362805、发明名称为《抛光刷，抛光方法，抛光装置及磁盘用玻璃基板的制造方法》、国际申请日为2006年9月28日的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及抛光刷、抛光构件、利用所述抛光刷和抛光构件的抛光方法及抛光装置，特别是，涉及适合于在小直径磁盘用玻璃基板的内周侧端面的抛光中使用的抛光刷、抛光构件、抛光方法及抛光装置，以及磁盘用玻璃基板及磁盘的制造方法。

背景技术

目前，信息记录技术，特别是磁记录技术，伴随着IT业的迅猛发展，要求飞跃性的技术革新。对于装载在硬盘驱动器(HDD)等信息记录装置上的磁盘，根据高容量化的需要，要求能够实现40Gbit/inch²～100Gbit/inch²以上的信息记录密度的技术。

作为磁盘等磁记录介质用的基板，过去广泛采用铝系合金基板，但是，最近，作为适合于高记录密度化的磁盘用基板，玻璃基板引起人们的关注。玻璃基板由于比铝系合金基板刚性高，所以适合于磁盘装置的高速旋转，另外，由于得到平滑的表面，所以容易使磁头的上浮量降低，能够提高记录信号的S/N比，所以，玻璃基板是合适的。

另外，为了使磁盘高记录密度化，对于玻璃基板的加工精度要求也很高，不仅对于玻璃基板的主表面如此，对于端面形状也具有同样的要求。

作为这种玻璃基板的端面抛光方法，在下面的专利文献1中，揭示了一种抛光方法，所述抛光方法，将在中心部具有圆孔的圆盘状玻璃基板浸渍到含有游离磨料的抛光液中，利用上述抛光液，使该玻璃基板的内周端面与抛光刷或抛光垫旋转接触，进行抛光。

图10是用于说明这种现有的抛光方法的抛光装置的一个例子的剖视图。在图10中，60是作为抛光对象的磁盘用玻璃基板，61是容纳多个上述玻璃基板60并将其浸渍于抛光液中的基板盒，65是可自由转动地固定保持基板盒61的旋转保持台，62是插入到多个叠层的上述玻璃基板60的内周侧圆孔中的抛光刷，68是容纳抛光液69的抛光液容纳部。上述基板盒61在其下部的适当的部位上设置有抛光液流通孔70，以便盒内外部的抛光液能够流通。上述旋转保持台65结合到旋转轴66上，可以借助向正反两个方向旋转驱动该旋转轴66的旋转驱动装置67进行旋转。另外，上述抛光刷62连接到旋转驱动装置64的旋转轴上，能够进行正反两个方向的旋转。进而，该抛光刷62借助凸轮机构(图中未示出)将刷毛63压到上述玻璃基板60的内周侧端面上，同时可以沿着刷的旋转轴方向往复摆动。过去，利用这种抛光装置，例如，在使上述旋转保持台65和抛光刷62在彼此相反的方向上旋转的状态下进行抛光。

专利文献1：特开平11-221742号公报

发明内容

随着信息化社会的进展，对于磁盘的高记录密度化和低价格化的要求日益增高。对于磁盘的端面形状，也要求更加平滑化、提高加工精度以及缩短加工时间，提高辅助材料的寿命。

另外，上述硬盘驱动器不仅装载在现有的个人计算机等上，近年来，用于便携式电话、便携式信息终端(PDA等)、汽车导航系统等中的所谓的移动式的用途也快速扩展。在考虑到这种移动式的用途的情况下，不仅要求磁盘的耐冲击性，而且，由于能够装载硬盘驱动器的空间极为有限，所以要求硬盘驱动器本身的小型化，因此，也要求装载在硬盘驱动器上的磁盘小型化。因此，作为这些适合于移动式用途的磁盘，作为现有技术的磁盘，提出了与比较小型的与所谓2.5英寸磁盘直径相比更小的磁盘，例如，外径为48mm、内径为12mm的1.8英寸磁盘，外径为27.4mm、内径为7mm的1英寸磁盘，外径为22mm、内径为6mm的0.85英寸的磁盘等方案。

另外，伴随着这种磁盘的小直径化，磁盘基板的厚度也薄型化。例如，过去，磁盘基板的厚度为0.635mm，在谋求磁盘的小直径化的情况下，要求磁盘基板的厚度为0.581mm、0.381mm，或者更小。

对于这种小直径化、薄膜化的磁盘用玻璃基板，有必要以良好的尺寸精度将内周侧端面精加工成规定的端面形状，同时将其表面精加工成平滑的镜面状态。而且，要求以低成本稳定地大量提供基板之间没有偏差、高品质精加工的磁盘用玻璃基板。

但是，在利用上述专利文献1揭示的现有技术的抛光方法制造多个磁盘用玻璃基板的情况下，存在着玻璃基板之间的内周侧端面形状、尺寸精度的偏差，不能高度平滑地精加工内周侧端面的表面等问题，并且存在着尽管对可再加工的基板进行再加工，但是，不得不将其它次品进行废弃处理，不管那种情况都会提高成本的问题。