[发明专利]抛光刷，抛光方法，抛光装置及磁盘用玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，包括对玻璃基板的侧壁面和存在于该玻璃基板的主表面与侧壁面之间的中间面这两方的面进行抛光的端面抛光工序，其特征在于，

所述制造方法利用具有以前述侧壁面为主进行抛光的侧壁面用抛光部和以前述中间面为主进行抛光的中间面用抛光部的抛光构件，向前述侧壁面及前述中间面供应含有磨料的抛光液，进行前述端面的抛光工序。

2.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述抛光构件具有旋转轴，同时，一面使前述侧壁面用抛光部与前述玻璃基板的侧壁面接触，以及/或者一面使前述中间面用抛光部与前述玻璃基板的中间面接触，一面通过旋转进行抛光。

3.如权利要求2所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述抛光构件，从前述旋转轴到前述侧壁面用抛光部的相对于前述旋转轴正交的方向上的长度，比从前述旋转轴到前述中间面用抛光部的相对于前述旋转轴正交的方向上的长度短。

4.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述抛光构件具有旋转轴，同时，在通过该旋转轴的平面上的前述抛光构件的截面形状与叠层的玻璃基板的端部形状相一致。

5.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，为了同时抛光多个玻璃基板的内周侧端面，将多个玻璃基板重叠进行端面抛光。

6.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述抛光构件的前述侧壁面用抛光部与前述中间面用抛光部朝着轴向方向交替地配置。

7.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述中间面用抛光部是抛光刷。

8.如权利要求7所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述侧壁面用抛光部是抛光刷。

9.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述侧壁面用抛光部是用树脂加固了抛光刷的毛的抛光部。

10.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法，其特征在于，前述抛光构件具有旋转轴，通过使该抛光构件旋转、以及/或者使之沿着前述旋转轴方向移动，进行抛光。

11.一种抛光构件，所述抛光构件在包含有对玻璃基板的侧壁面和存在于该玻璃基板的主表面和侧壁面之间的中间面这两方的面进行抛光的端面抛光工序的磁盘用玻璃基板的制造方法中使用，其特征在于，

所述抛光构件具有以前述侧壁面为主进行抛光的侧壁面用抛光部、以及以前述中间面为主进行抛光的中间面用抛光部。

12.一种抛光装置，其特征在于，所述抛光装置包括：

基板保持机构，所述基板保持机构保持玻璃基板；

抛光液供应机构，所述抛光液供应机构向玻璃基板的内周侧端面部分供应抛光液；

抛光构件，所述抛光构件具有旋转轴，同时，具有以玻璃基板的侧壁面为主进行抛光的侧壁面用抛光部，以及以存在于该玻璃基板的主表面与侧壁面之间的中间面为主进行抛光的中间面用抛光部；

以及驱动机构，所述驱动机构一面使该抛光构件与玻璃基板的内周侧端面接触，一面使之旋转、以及/或者使之沿着前述旋转轴方向移动。

13.如权利要求12所述的抛光装置，其特征在于，前述抛光构件一面使前述侧壁面用抛光部与前述玻璃基板的侧壁面接触，以及/或者一面使前述中间面用抛光部与前述玻璃基板的中间面接触，一面进行旋转。