[发明专利]搬送系统及搬送方法

说明书

技术领域

本发明涉及搬送系统，特别涉及不让处理装置等待而供给搬出物品的搬送系统。

背景技术

需要不让半导体加工装置及半导体的检查装置等处理装置等待，而向这些装置的装载口供给及搬出FOUP(用于搬送半导体晶片的封闭式盒子)等物品。因此，提出了在处理装置的附近设置暂存区，并且设置用于进行暂存区和处理装置之间的搬送的第二搬送装置。例如在专利文献1(JP2006-224944A)中，在顶棚空间平行配置多个桥式吊车(overhead travelling vehicle)的轨道，一方作为长距离搬送用，另一方作为短距离搬送用。而且在长距离搬送用轨道的正下方配置暂存区，在短距离搬送用轨道的正下方配置处理装置的装载口。长距离搬送用的桥式吊车与暂存区之间交接物品，短距离搬送用的桥式吊车在暂存区与装载口之间交接物品。因此如果预先将处理装置所需的物品搬送到暂存区，就能够高速地向处理装置进行物品供给。另外，通过短距离搬送用的桥式吊车高速地从处理装置的装载口搬出物品。但是，如果这样的话，由于在相同高度位置平行设置轨道，因此搬送系统在俯视时占有的地面面积会增大。

在专利文献2(JP2005-150129A)中，在处理装置的前面设置具备了搬送装置的暂存区，桥式吊车与暂存区之间交接物品，暂存区内的搬送装置与装载口之间交接物品。但是在处理装置的前面设置了显示运转状况的显示器、人工操作用的操作板等，用暂存区将这些挡住是不理想的。另外装载口并不仅仅是自动搬送装置使用的，有时也由人工来供给搬出物品，如果用暂存区覆盖处理装置的前面，则人工处理变得困难。

现有技术文献(专利文献)

专利文献1：JP2006-224944A

专利文献2：JP2005-150129A

发明内容

本发明的课题在于，不挡住处理装置的前面，并且缩小搬送系统在俯视时占有的地面面积，同时迅速地向处理装置供给及搬出物品。

本发明的追加课题在于，提供区间台车的具体结构。

本发明的追加课题在于，使区间台车的馈线变得不需要。

本发明的追加课题在于，不追加装置就能够检测区间台车在桥式吊车的正下方。

本发明的搬送系统在多个处理装置之间搬送物品，设置有：

第一轨道，在处理装置的装载口上部延伸；

桥式吊车，沿着第一轨道行驶并且具备起重机(hoist)；

第二轨道，在所述第一轨道的下方，配置为在所述装载口的上方延伸并且与所述第一轨道平行；

暂存区，在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置为物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如，该暂存区用于放置物品；以及

区间台车，具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机，并且沿着第二轨道行驶。

在本发明中，桥式吊车行驶的空间和区间台车行驶的空间可以在铅直方向重叠。因此能够缩小搬送系统在俯视时占有的地面面积。另外暂存区不会挡住处理装置的前面。而且桥式吊车和区间台车都在暂存区及装载口这双方之间交接物品。由此不会让处理装置等待，并且能够迅速地搬送来自处理装置的物品。暂存区也可以仅设置在从装载口的正上部远离的位置，或者也可以将暂存区的框架等配置在装载口的正上部。

本发明还涉及后附于由具备起重机的桥式吊车和在处理装置的装载口上部延伸的桥式吊车的轨道组成的已有的桥式吊车系统的搬送系统。

本系统的特征在于，具有：

第二轨道，在桥式吊车的轨道的下方，配置成在处理装置的装载口的上方延伸并且与桥式吊车的轨道平行；

暂存区，在所述第二轨道的下方并且比所述装载口高的位置，设置为物品沿铅直方向在所述装载口的正上部通过自如，该暂存区用于放置物品；以及

区间台车，具备在所述暂存区及所述装载口之间交接物品的起重机，并且沿着第二轨道行驶。

如果这样的话，能够对已有的桥式吊车系统后附由第二轨道和区间台车以及暂存区组成的搬送系统。而且后附的搬送系统无需对处理装置进行改造，即使对于现存的桥式吊车系统，也仅需要进行兼用支柱这一程度的改造。

在本发明中，在具备起重机的桥式吊车和处理装置的装载口之间交接物品。

而且桥式吊车沿着在处理装置的装载口的上部延伸的桥式吊车的轨道行驶，

在桥式吊车的轨道的下方，设置第二轨道，该第二轨道在处理装置的装载口的上方延伸并且与桥式吊车的轨道平行，