[发明专利]多级等能量分光系统

权利要求书

1.一种多级等能量分光系统，适用于激光刻膜机中对激光头发出的激光进行分光，其特征在于，包括：

至少两光阑，所述光阑设置于一条直线上；

第二扩束系统，所述第二扩束系统与所述光阑一一对应设置；

分光系统，所述分光系统间隔地与所述第二扩束系统相对应设置；

全反系统，所述全反系统与其余的所述第二扩束系统相对应设置，且所述全反系统与所述分光系统相对应设置；

第一扩束系统，所述第一扩束系统的出光端与所述分光系统相对应；

激光头，所述激光头的出射端与所述第一扩束系统的入光端相对应；

所述激光头发出的激光经所述第一扩束系统扩束后进入所述分光系统，所述激光经所述分光系统分光后，一部分进入与之相对应的第二扩束系统，另一部分经所述全反系统后进入与所述全反射系统相对应的第二扩束系统。

2.如权利要求1所述的多级等能量分光系统，其特征在于，所述光阑包括呈直线排列的第一光阑、第二光阑、第三光阑、第四光阑、第五光阑、第六光阑、第七光阑及第八光阑，所述第二扩束系统与所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八光阑一一对应设置，经所述第一扩束系统扩束后的激光，经所述分光系统及所述全反系统后分别对应进入所述第二扩束系统，经所述第二扩束系统扩束后的激光分别对应进入所述光阑。

3.如权利要求2所述的多级等能量分光系统，其特征在于，所述第二扩束系统包括第一扩束机构、第二扩束机构、第三扩束机构、第四扩束机构、第五扩束机构、第六扩束机构、第七扩束机构及第八扩束机构，所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八扩束机构分别与所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八光阑一一对应设置。

4.如权利要求3所述的多级等能量分光系统，其特征在于，所述分光系统包括：

依次呈直线排列的第一分光机构、第二分光机构及第三分光机构，所述第一、第二、第三分光机构对应所述第一光阑、第一扩束机构设置，且所述第一、第二、第三分光机构、第一扩束机构、第一光阑排列于一条直线上；

第四分光机构，所述第四分光机构对应所述第二分光机构设置，且所述第四分光机构、第三扩束机构、第三光阑排列于一条直线上；

第五分光机构，所述第五分光机构对应所述第一分光机构设置，且所述第五分光机构、第五扩束机构、第五光阑排列于一条直线上；

第六分光机构，所述第六分光机构对应所述第五分光机构设置，且位于所述第五分光机构与所述第五扩束机构之间；及

第七分光机构，所述第七分光机构对应所述第一分光机构设置，且所述第七分光机构、第七扩束机构、第七光阑排列于一条直线上。

5.如权利要求4所述的多级等能量分光系统，其特征在于，所述全反系统包括：

第一全反机构，所述第一全反机构对应所述第八扩束机构设置，且所述第一全反机构、第七分光机构、第五分光机构、第一分光机构依次排列于一条直线上；

第二全反机构，所述第二全反机构对应所述第六分光机构设置，且所述第二全反机构、第六扩束机构、第六光阑依次排列于一条直线上；

第三全反机构，所述第三全反机构对应所述第四分光机构设置，且所述第三全反机构、第四分光机构、第二分光机构依次排列于一条直线上，所述第三全反机构、第四扩束机构、第四光阑依次排列于一条直线上；及

第四全反机构，所述第四全反机构对应所述第三分光机构设置，且所述第四全反机构、第二扩束机构、第二光阑依次排列于一条直线上。

6.如权利要求5所述的多级等能量分光系统，其特征在于：所述全反系统还包括第五全反机构，所述第五全反机构与所述第一、第二、第三分光机构依次排列于一条直线上，且所述第五全反机构对应于所述第一扩束系统的出光端。

7.如权利要求6所述的多级等能量分光系统，其特征在于：所述全反系统还包括第六全反机构及第七全反机构，所述第六、第七全反机构相对地设置于所述第一扩束系统的入光端，且与所述激光头的出射端相对应。