[发明专利]多级等能量分光系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种多级等能量分光系统，尤其涉及一种适用于激光刻膜机中的精密多级等能量分光系统。

背景技术

非晶硅太阳能电池的生产流程中，涉及底层电极、中间光伏效应层和表面欧姆接触电极层的薄膜沉积，以及各个膜层的刻蚀，激光刻蚀技术相比传统的掩膜法具有更高的生产效率以及稳定的产品质量，已较好地应用于太阳能电池的生产工艺流程中。

目前，为了提高激光刻膜机的生产效率，通常采用几套激光刻蚀系统进行刻蚀。这些激光刻蚀系统可以采用几套激光头进行刻蚀，也可采用一激光头分多路激光进行刻蚀。同时用几套激光头进行刻蚀操作简单，但成本很高；而采用一套激光头进行分光，激光分光系统一般是在激光总光路进行一次扩束，然后进行光学分光，由于分光镜片精度不一，分光之后每路输出功率不一样，只能在聚焦加工前面加不同通光孔直径的光阑进行功率调整，实现功率一样。

由于使用不同的通孔孔直径的光缆，这样在调整时很不方便，且由于光斑大小不一，使刻线也大小不一最终影响产品质量。

因此，急需一种结构简单、布局紧凑合理、调整快速精确，且分光误差小的多级等能量分光系统来克服现有技术的不足。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构简单、布局紧凑合理、调整快速精确，且分光误差小的多级等能量分光系统。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种多级等能量分光系统，适用于激光刻膜机中对激光头发出的激光进行分光，其包括激光头、第一扩束系统、全反系统、分光系统、至少两第二扩束系统及至少两光阑，所述光阑设置于一条直线上，所述第二扩束系统与所述光阑一一对应设置，所述分光系统间隔地与所述第二扩束系统相对应设置，所述全反系统与其余的所述第二扩束系统相对应设置，且所述全反系统与所述分光系统相对应设置，所述第一扩束系统的出光端与所述分光系统相对应，所述激光头的出射端与所述第一扩束系统的入光端相对应，所述激光头发出的激光经所述第一扩束系统扩束后进入所述分光系统，所述激光经所述分光系统分光后，一部分进入与之相对应的第二扩束系统，另一部分经所述全反系统后进入与所述全反射系统相对应的第二扩束系统。

较佳地，所述光阑包括呈直线排列的第一光阑、第二光阑、第三光阑、第四光阑、第五光阑、第六光阑、第七光阑及第八光阑，所述第二扩束系统与所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八光阑一一对应设置，经所述第一扩束系统扩束后的激光，经所述分光系统及所述全反系统后分别对应进入所述第二扩束系统，经所述第二扩束系统扩束后的激光分别对应进入所述光阑。

较佳地，所述第二扩束系统包括第一扩束机构、第二扩束机构、第三扩束机构、第四扩束机构、第五扩束机构、第六扩束机构、第七扩束机构及第八扩束机构，所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八扩束机构分别与所述第一、第二、第三、第四、第五、第六、第七、第八光阑一一对应设置。

较佳地，所述分光系统包括第一分光机构、第二分光机构、第三分光机构、第四分光机构、第五分光机构、第六分光机构及第七分光机构，所述第一分光机构、第二分光机构及第三分光机构依次呈直线排列，所述第一、第二、第三分光机构对应所述第一光阑、第一扩束机构设置，且所述第一、第二、第三分光机构、第一扩束机构、第一光阑排列于一条直线上；所述第四分光机构对应所述第二分光机构设置，且所述第四分光机构、第三扩束机构、第三光阑排列于一条直线上；所述第五分光机构对应所述第一分光机构设置，且所述第五分光机构、第五扩束机构、第五光阑排列于一条直线上；所述第六分光机构对应所述第五分光机构设置，且位于所述第五分光机构与所述第五扩束机构之间；所述第七分光机构对应所述第一分光机构设置，且所述第七分光机构、第七扩束机构、第七光阑排列于一条直线上。

较佳地，所述全反系统包括第一全反机构、第二全反机构、第三全反机构及第四全反机构，所述第一全反机构对应所述第八扩束机构设置，且所述第一全反机构、第七分光机构、第五分光机构、第一分光机构依次排列于一条直线上；所述第二全反机构对应所述第六分光机构设置，且所述第二全反机构、第六扩束机构、第六光阑依次排列于一条直线上；所述第三全反机构对应所述第四分光机构设置，且所述第三全反机构、第四分光机构、第二分光机构依次排列于一条直线上，所述第三全反机构、第四扩束机构、第四光阑依次排列于一条直线上；所述第四全反机构对应所述第三分光机构设置，且所述第四全反机构、第二扩束机构、第二光阑依次排列于一条直线上。