[发明专利]一种旋转气流降温热板有效

专利信息
申请号: 201110332092.X 申请日: 2011-10-27
公开(公告)号: CN103094147A 公开(公告)日: 2013-05-08
发明(设计)人: 魏猛 申请(专利权)人: 沈阳芯源微电子设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 白振宇
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 旋转 气流 降温
【权利要求书】:

1.一种旋转气流降温热板,其特征在于:包括盘体(1)及外壳(2),其中外壳(2)包围在盘体(1)的外部,盘体(1)的底部边缘与外壳(2)的底部密封连接,所述盘体(1)的侧表面与外壳(2)的内壁之间留有间隙(5);所述外壳(2)内开有腔体(4),该腔体(4)与所述间隙(5)之间的盘体(1)上均布有多个通孔(6);在盘体(1)底部边缘与外壳(2)底部的密封处内外设有两组接头,位于内侧的一组接头为与所述间隙(5)连通的排风接头(3),各排风接头(3)分别接至排风负压气源,位于外侧的另一组接头为与所述腔体(4)连通的输送气体的接头;所述外壳(2)顶部与盘体(1)顶部之间的间隙(5)体积缩小。

2.按权利要求1所述的旋转气流降温热板,其特征在于:所述盘体(1)为圆盘状,外壳(2)为圆形套筒,套设在盘体(1)的外部、与盘体(1)同心设置,在外壳(2)的底部通过隔热密封垫(8)与盘体(1)的底部边缘密封连接;所述内外设置的两组接头,分别安装在隔热密封垫(8)上。

3.按权利要求1或2所述的旋转气流降温热板,其特征在于:所述外壳(2)与盘体(1)之间的间隙(5)上窄下宽,外壳(2)的顶部沿径向向内延伸,形成延伸部(7),该延伸部(7)内壁的轴向截面为锥台,所述延伸部(7)内壁与盘体(1)顶部之间的间隙(5)小于外壳(2)其他部位内壁与盘体(1)侧表面之间的间隙。

4.按权利要求1所述的旋转气流降温热板,其特征在于:所述通孔(6)的两端分别连通于腔体(4)及间隙(5),各通孔(6)的中心轴线与盘体(1)半径之间的夹角为45°。

5.按权利要求4所述的旋转气流降温热板,其特征在于:所述通孔(6)为六个,由通孔(6)喷出的气体喷射到盘体(1)的侧表面上,形成一组逆时针或顺时针的气流。

6.按权利要求1所述的旋转气流降温热板,其特征在于:所述内外设置的两组接头,每组各有六个,内外两侧的接头相间隔设置,位于外侧的每一个输送气体的接头的正上方对应一个通孔(6)。

7.按权利要求1所述的旋转气流降温热板,其特征在于:所述腔体(4)为圆环形腔体,与盘体(1)同心。

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