[发明专利]热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉

权利要求书

1.一种热解氮化硼板材的制备方法，该方法采用具有进气机构并且在炉内设置有旋转的模具的气相沉积炉，原料气体为N₂、NH₃和BCl₃的混合气体，其中：N₂、NH₃和BCl₃气体的mol比为30-10∶10-1∶8-0.5，气相沉积炉的炉温为1700～2000℃，保温时间为14-26h，其特征在于所述的旋转模具在所述的气相沉积炉内呈倾斜设置。

2.根据权利要求1所述的热解氮化硼板材的制备方法，其特征在于所述倾斜设置的倾斜角度为与水平成10-20°。

3.一种如权利要求1所述的热解氮化硼板材的制备方法所用的气相沉积炉，其特征在于包括一炉体(1)，该炉体(1)以腾空状态支承于一组支脚(14)上，并且炉体(1)具有一第一冷却水套(11)，在该第一冷却水套(11)上配接有一第一进水接口(111)和一第一出水接口(112)；一炉盖(2)，该炉盖(2)具有一第二冷却水套(21)，在该第二冷却水套(21)上配接有一第二进水接口(211)和一第二出水接口(212)，并且在炉盖(2)的中央延接有一排气筒(22)，在该排气筒(22)上连接有一排气管(221)；一具有模具腔(31)的石墨筒体(3)，该石墨筒体(3)设置在炉体(1)的炉体腔内，并且该石墨筒体(3)的上部配有一石墨筒体盖(32)，该石墨筒体盖(32)的中央并且朝向所述炉盖(2)的方向延伸有一与炉盖(2)相固定的气体引出套(321)，该气体引出套(321)的气体引出套腔(3211)与排气筒(22)的排气筒腔(222)相通并且还与所述的模具腔(31)相通，在石墨筒体(3)的外壁上设置有电磁加热线圈(33)，而在石墨筒体(3)的模具腔(31)的底部均匀分布有三至八个进气口(311)；一模具旋转机构(4)，该模具旋转机构(4)设置在所述的炉盖(2)上；一主轴(5)，该主轴(5)的上端依次途经所述的气体引出套腔(3211)和排气筒腔(222)与所述的模具旋转机构(4)连接，而下端伸展到所述模具腔(31)内并且固定有一旋转盘(51)；一模具(6)，该模具(6)对应于所述旋转盘(51)的下方，与所述主轴(5)倾斜连接并且还通过连接柱(61)与旋转盘(51)连接；数量与所述进气口(311)的数量相等的用于向所述模具腔(31)内引入原料气体的一组进气机构(7)，各进气机构(7)与所述炉体(1)固定，并且与进气口(311)相对应。

4.根据权利要求3所述的热解氮化硼板材的制备方法所用的气相沉积炉，其特征在于所述的第一冷却水套(11)的内壁上并且位于内壁的下方间隔开设有一组过渡孔(113)，过渡孔(113)与构成于所述炉体(1)的底部的冷却隔套腔(12)相通。

5.根据权利要求3所述的热解氮化硼板材的制备方法所用的气相沉积炉，其特征在于所述的第一进水接口(111)和所述的第一出水接口(112)彼此呈对角设置，其中，第一进水接口(111)位于所述炉体(1)的下侧部，而第一出水接口(112)位于炉体(1)的上侧部。

6.根据权利要求3所述的热解氮化硼板材的制备方法所用的气相沉积炉，其特征在于在所述的炉体(1)的内壁设有炉体内衬层(13)，所述的炉盖(2)的内壁设有炉盖内衬层(23)，炉体内衬层(13)和炉盖内衬层(23)为耐火泥或耐火砖。

7.根据权利要求3所述的热解氮化硼板材的制备方法所用的气相沉积炉，其特征在于所述的炉盖(2)通过一组间隔设置的卡掣件(24)与所述炉体(10相配合。