[发明专利]基板处理系统和基板输送方法

权利要求书

1.一种基板处理系统，其包括：在真空状态下在基板上实施处理的一个基板处理装置；与该基板处理装置连接并使内部状态在大气与真空之间切换的第一基板输送装置；和第二基板输送装置，其与该第一基板输送装置连接，并按照隔着所述第一基板输送装置与所述基板处理装置相对的方式配置，

其中，所述第二基板输送装置在大气状态下相对于所述第一基板输送装置进行所述基板的搬出搬入，所述第一基板输送装置相对于所述基板处理装置进行所述基板的搬出搬入，

该基板处理系统的特征在于：

所述第一基板输送装置具有在该第一基板输送装置的内部以上下重叠的方式配置，且相互独立地上下运动的上部基板输送机构和下部基板输送装置，

所述上部基板输送机构具有：第一基部，其配置有相互平行且向所述基板处理装置延伸的多个第一导向部；多个细长状的第一中间滑动部件，其与各所述第一导向部对应地设置，朝向所述基板处理装置对于所述第一导向部相对地滑动；和多个细长状的第一上部滑动部件，其与各所述第一中间滑动部件对应地设置，朝向所述基板处理装置对于所述第一中间滑动部件相对地滑动，

所述下部基板输送机构具有：第二基部，其配置有相互平行且向所述基板处理装置延伸的多个第二导向部；多个细长状的第二中间滑动部件，其与各所述第二导向部对应地设置，朝向所述基板处理装置对于所述第二导向部相对地滑动；和多个细长状的第二上部滑动部件，其与各所述第二中间滑动部件对应地设置，朝向所述基板处理装置对于所述第二中间滑动部件相对地滑动，

多个所述第一上部滑动部件和多个所述第二上部滑动部件分别载置所述基板。

2.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于：

具备在所述第一基板输送装置的内部从下方向上方突出自如的多个销状部件。

3.如权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于：

所述基板呈矩形，一边的长度为1.8m以上。

4.如权利要求1～3中任一项所述的基板处理系统，其特征在于：

在所述上部基板输送机构中各所述第一中间滑动部件与各所述第一上部滑动部件同步滑动，

在所述下部基板输送机构中各所述第二中间滑动部件与各所述第二上部滑动部件同步滑动。

5.如权利要求1～3中任一项所述的基板处理系统，其特征在于：

在所述上部基板输送机构中各所述第一中间滑动部件相互未连结，在所述下部基板输送机构中各所述第二中间滑动部件相互未连接。

6.如权利要求1～3中任一项所述的基板处理系统，其特征在于：

在所述上部基板输送机构中各所述第一上部滑动部件相互未连结，在所述下部基板输送机构中各所述第二上部滑动部件相互未连结。

7.一种基板输送方法，其是基板处理系统的基板输送方法，所述基板处理系统包括：在真空状态下在基板上实施处理的一个基板处理装置；与该基板处理装置连接并使内部状态在大气与真空之间切换的第一基板输送装置；和第二基板输送装置，其与该第一基板输送装置连接，按照隔着所述第一基板输送装置与所述基板处理装置相对的方式配置，其中，所述第二基板输送装置在大气状态下相对于所述第一基板输送装置进行所述基板的搬出搬入，所述第一基板输送装置相对于所述基板处理装置进行所述基板的搬出搬入，

所述第一基板输送装置具有在该第一基板输送装置的内部以上下重叠的方式配置，且相互独立地上下运动的上部基板输送机构和下部基板输送装置，并具有在所述第一基板输送装置的内部从下方向上方突出自如的多个销状部件，所述上部基板输送机构具有：第一基部，其配置有相互平行且向所述基板处理装置延伸的多个第一导向部；多个细长状的第一中间滑动部件，其与各所述第一导向部对应地设置，朝向所述基板处理装置对于所述第一导向部相对地滑动；多个细长状的第一上部滑动部件，其与各所述第一中间滑动部件对应地设置，朝向所述基板处理装置对于所述第一中间滑动部件相对地滑动，所述下部基板输送机构具有：第二基部，其配置有相互平行且向所述基板处理装置延伸的多个第二导向部；多个细长状的第二中间滑动部件，其与各所述第二导向部对应地设置，朝向所述基板处理装置对于所述第二导向部相对地滑动；多细个长状的第二上部滑动部件，其与各所述第二中间滑动部件对应地设置，朝向所述基板处理装置对于所述第二中间滑动部件相对地滑动，多个所述第一上部滑动部件和多个所述第二上部滑动部件分别载置所述基板，

该基板输送方法的特征在于，包括：

所述上部基板输送机构接收所述第二基板输送装置搬入的未处理的基板的第一接收步骤；

使所述上部基板输送机构和所述下部基板输送机构上升的第一上升步骤；

所述下部基板输送机构使所述第二中间滑动部件和所述第二上部滑动部件滑动，将处理完成的基板从所述基板处理装置搬出的搬出步骤；

使所述上部基板输送机构和所述下部基板输送机构下降的下降步骤；

所述上部基板输送机构使所述第一中间滑动部件和所述第一上部滑动部件滑动，将所述未处理的基板搬入所述基板处理装置的搬入步骤；

仅所述上部基板输送机构上升的第二上升步骤；

所述多个销状部件突出，使所述处理完成的基板从所述下部基板输送机构离开并上升的第三上升步骤；

所述第二基板输送装置接收上升的所述处理完成的基板的第二接收步骤。