[发明专利]流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法

说明书

技术领域

本发明涉及例如具有质量流量控制器等流体测量设备及管理所述流体测量设备的控制设备的流体测量系统。

背景技术

如专利文献1所示，作为以往的流量测量系统具有一或多个质量流量传感器等流量测量设备及用于管理所述流量测量设备的控制设备。在该流量测量系统中，在设置在控制设备中的存储器中存储有各流量测量设备的校准数据、校准曲线数据、流量测量设备的ID或使流量测量设备动作的代码等。

但是，对于校准数据等存储在控制设备中的流量测量系统，当因流量测量设备的故障等而更换流量测量设备时，需要与该流量测量设备对应，在存储器中重新写入更换后的流量测量设备的校准数据等。在此，更换流量测量设备并进行校准的操作以及重新在存储器中写入校准数据等的操作，需要在将流量测量设备连接在控制设备上的状态下进行。即，需要在生产线等现场校准流量测量设备，并需要在生产线等现场进行在控制设备中写入校准数据等的操作，因此存在养护性差的问题。

专利文献1：日本专利公开公报特表2005-531069号

发明内容

鉴于所述问题，本发明的主要目的在于，仅通过将流体测量设备与控制设备连接，该控制设备就可以自动取得与流体计算相关的数据，从而可以提高流体测量系统的养护性。

即，本发明提供一种流体测量系统，具有流体测量设备及管理该流体测量设备的控制设备，其特征在于，所述流体测量设备包括流体传感器以及相关数据存储部，该相关数据存储部存储流体计算相关数据，该流体计算相关数据用于使用了由所述流体传感器得到的测量数据的流体计算，所述控制设备从所述相关数据存储部取得所述流体计算相关数据，并使用所述流体传感器的所述测量数据和所述流体计算相关数据进行流体计算。另外，作为流体传感器，可以列举：测量流体的流量的流量传感器、测量流体的压力的压力传感器、测量流体中规定成分的浓度的浓度传感器或测量流体的混合比的比率传感器，等等。

按照所述流体测量系统，仅通过连接控制设备和流体测量设备，控制设备就可以自动取得连接的流体测量设备的固有的流体计算相关数据。由此，通过将流体计算相关数据仅预先存储在流体测量设备中，就可以不在生产线等使用现场进行数据输入操作，从而可以提高养护性。此外，即使在控制设备因故障等需要更换时，由于流体计算相关数据存储在流体测量设备中，所以仅通过连接新的控制设备和流体测量设备，就可以不用进行输入流体计算相关数据操作地构成流体测量系统。特别是，尽管在流体测量设备中，因流体传感器的仪器误差造成的测量误差占有较大比例，但是通过使所述流体计算相关数据中预先包含用于修正流体传感器的仪器误差的数据，所以可以无须在现场输入仪器误差修正用的数据的操作，从而可以提高养护性。

优选的是，所述流体测量设备具有AD转换器，所述AD转换器将从所述流体传感器输出的模拟信号转换成作为所述测量数据的数字信号，所述流体计算相关数据包含AD转换特性数据，所述AD转换特性数据表示所述AD转换器的AD转换特性。由此，可以考虑设置在流体测量设备中的AD转换器的转换特性后计算流体的流量等，从而可以修正AD转换时的转换误差，因而可以高精度地进行流体计算。此外，可以减小因AD转换器的仪器误差导致的误差。

如果控制设备从AD转换器直接取得数字信号，则存在因AD转换的等待时间会导致控制设备的其他处理受到制约的问题。为解决该问题，优选的是，所述流体测量设备具有处理器，所述处理器从所述AD转换器取得所述数字信号并存储在存储器中，所述控制设备通过所述处理器取得由所述AD转换器转换成的所述数字信号。由此，可以降低控制设备的处理器的处理量，在使用相同性能的处理器时，可以进行更高速的处理并控制更多的流体控制设备。

优选的是，所述流体传感器是流量传感器，所述流体测量设备是质量流量控制器，该质量流量控制器还包括流量调节阀，所述控制设备对计算出的流量值和流量设定值进行比较计算，并使用该比较计算的结果控制所述流量调节阀。由此，在流路流量测量设备为质量流量控制器的情况下，如果按照以往的方式则向控制设备输入的数据量也会增加，但是本发明却无须增加向控制设备输入的数据量，可以进一步提高养护性。

作为适合在所述流体测量系统中使用的流体测量设备，与控制设备连接并被该控制设备管理，其特征在于，所述流体测量设备包括流体传感器以及相关数据存储部，该相关数据存储部用于存储流体计算相关数据，该流体计算相关数据用于使用了由所述流体传感器得到的测量数据的流体计算，从所述相关数据存储部向所述控制设备输出所述流体计算相关数据，并向所述控制设备输出所述流体传感器的所述测量数据。