[发明专利]流体测量系统、设备、方法及流体测量设备管理方法

权利要求书

1.一种流体测量系统，具有流体测量设备及管理该流体测量设备的控制设备，其特征在于，

所述流体测量设备包括流体传感器以及相关数据存储部，该相关数据存储部存储流体计算相关数据，该流体计算相关数据用于使用了由所述流体传感器得到的测量数据的流体计算，

所述控制设备从所述相关数据存储部取得所述流体计算相关数据，并使用所述流体传感器的所述测量数据和所述流体计算相关数据进行流体计算。

2.根据权利要求1所述的流体测量系统，其特征在于，所述流体测量系统具有多个所述流体测量设备。

3.根据权利要求1所述的流体测量系统，其特征在于，

所述流体测量设备具有AD转换器，所述AD转换器将从所述流体传感器输出的模拟信号转换成作为所述测量数据的数字信号，

所述流体计算相关数据包含AD转换特性数据，所述AD转换特性数据表示所述AD转换器的AD转换特性。

4.根据权利要求3所述的流体测量系统，其特征在于，

所述流体测量设备具有处理器，所述处理器从所述AD转换器取得所述数字信号并存储在存储器中，

所述控制设备通过所述处理器取得由所述AD转换器转换成的所述数字信号。

5.根据权利要求1所述的流体测量系统，其特征在于，

所述流体传感器是流量传感器，

所述流体测量设备是质量流量控制器，该质量流量控制器还包括流量调节阀，

所述控制设备对计算出的流量值和流量设定值进行比较计算，并使用该比较计算的结果控制所述流量调节阀。

6.一种流体测量设备，与控制设备连接并被该控制设备管理，其特征在于，

所述流体测量设备包括流体传感器以及相关数据存储部，该相关数据存储部用于存储流体计算相关数据，该流体计算相关数据用于使用了由所述流体传感器得到的测量数据的流体计算，

从所述相关数据存储部向所述控制设备输出所述流体计算相关数据，并向所述控制设备输出所述流体传感器的所述测量数据。

7.一种流体测量方法，其特征在于，用于流体测量设备，该流体测量设备具有流体传感器，并且该流体测量设备与控制设备连接，并接受该控制设备的管理，

所述流体测量方法使计算机作为相关数据存储部，所述相关数据存储部用于存储流体计算相关数据，该流体计算相关数据用于使用了由所述流体传感器得到的测量数据的流体计算。

8.一种流体测量设备管理方法，其特征在于，所述流体测量设备管理方法管理流体测量设备，该流体测量设备包括流体传感器以及相关数据存储部，该相关数据存储部用于存储流体计算相关数据，该流体计算相关数据用于使用了由所述流体传感器得到的测量数据的流体计算，

所述流体测量设备管理方法使计算机作为相关数据取得部和流体计算部，所述相关数据取得部从所述相关数据存储部取得所述流体计算相关数据，所述流体计算部使用所述流体传感器的所述测量数据和所述流体计算相关数据进行流体计算。