[发明专利]一种光刻机温控硅片载物台有效
| 申请号： | 201110307982.5 | 申请日： | 2011-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102445857A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 朱骏;陈力钧 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 温控 硅片 载物台 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻机温控硅片载物台，包括硅片载物台（1），所述硅片载物台（1）包括圆形放置硅片区域（3），其特征在于，所述放置硅片区域（3）周围设有环抱所述放置硅片区域（3）的圆环形温度测量装置（2）。
2.如权利要求1所述光刻机温控硅片载物台，其特征在于，所述放置硅片区域（3）下方设有制冷装置（4），所述制冷装置（4）紧贴所述放置硅片区域（3）。
3.如权利要求2所述光刻机温控硅片载物台，其特征在于，还包括温度控制装置，所述温度控制装置与所述温度测量装置（2）以及所述制冷装置（4）电性连接。
4.如权利要求3所述光刻机温控硅片载物台，其特征在于，所述制冷装置（4）为半导体制冷片，所述半导体制冷片的制冷面紧贴所述放置硅片区域（3）。
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