[发明专利]一种网络状绒面AZO透明导电膜的制备方法

权利要求书

1.一种网络状绒面AZO透明导电膜的制备方法，具体步骤为：

（1）ZnO:Al胶体溶液的配制

将一定量分析纯醋酸锌和硝酸铝在搅拌下加入无水乙醇/乙二醇甲醚，并加入适量二乙醇胺或单乙醇胺，继续搅拌1~2小时，得到透明稳定的胶体溶液；

（2）衬底清洗

将玻璃衬底置于去离子水、丙酮、无水乙醇中依次进行超声清洗，然后用去离子水冲洗，最后将衬底置于烘箱中晾干；

（3）薄膜制备

将预先清洗好的玻璃衬底浸渍到上述透明胶体溶液中，然后以恒定速度缓慢上升，从而在衬底上涂覆一层均匀的胶体膜，将胶体膜在400°C进行预处理以除去膜中的有机溶剂，重复上述步骤若干次，获得不同厚度的AZO薄膜；

（4）薄膜的热处理

将获得的AZO薄膜置于箱式炉中在空气中热处理1 h，然后将样品置于管式炉中，在还原气氛下热处理1 h，然后缓慢冷却至室温。

2.如权利要求1所述的一种网络状绒面AZO透明导电膜的制备方法，其特征在于：步骤（1）中Zn²⁺摩尔浓度为0.5 mol/L；Al与Zn原子浓度比为4%~6%：1；Zn²⁺与二乙醇胺或单乙醇胺的摩尔比为1：1。

3.如权利要求1所述的一种网络状绒面AZO透明导电膜的制备方法，其特征在于：步骤（3）中所述的恒定速度为6cm/min，胶体膜在400°C的预处理时间为10~20分钟；重复次数为10~16次；薄膜厚度为300~600 nm。

4.如权利要求1所述的一种网络状绒面AZO透明导电膜的制备方法，其特征在于：步骤（4）中在空气中和还原气氛下的热处理温度均为400°C，所用还原气体为Ar/H₂、N₂/H₂或H₂，Ar、N₂气流速为1~8 L/min，H₂气流速为0.2~2 L/min。