[发明专利]基板清洗系统

权利要求书

1.一种基板清洗系统，包括药液区间、药液供给区间以及至少两个水洗区间，与所述药液区间相邻的水洗区间为第一水洗区间，与第一水洗区间相邻的水洗区间为第二水洗区间，药液区间与各个水洗区间都设置有喷洒装置以及水平方向的传动装置，其中所述药液供给区间将药液输入所述药液区间的喷洒装置，以对传动装置上运送的基板进行药液喷洒，所述药液供给区间还对经所述药液区间的喷洒装置喷洒的药液进行回收，其特征在于，还包括：第一水供给单元、第二水供给单元，其中，

所述第一水供给单元、第二水供给单元都与所述第一水洗区间连接，用于轮流为所述第一水洗区间的喷洒装置供水，所述第一水洗区间还通过回流管路连接至所述第一水供给单元、第二水供给单元，以将喷洒装置喷出的水和基板上冲下的药液回收入所述第一水供给单元、第二水供给单元；所述第一水供给单元、第二水供给单元经排水管道进行废水排放；

所述第一水供给单元、第二水供给单元将通过所述回流管路得到的水及从所述第二水洗区间得到的水重新输入所述第一水洗区间，以对基板进行喷洒。

2.根据权利要求1所述的基板清洗系统，其特征在于，还包括；

水回收单元，所述水回收单元与所述第二水洗区间、第一水供给单元、第二水供给单元分别连接，用于将从所述第二水洗区间回收的水提供至所述第一水供给单元、第二水供给单元，也用于将从所述第二水洗区间回收的水排出。

3.根据权利要求1所述的基板清洗系统，其特征在于，还包括：

过渡区间，所述过渡区间位于所述药液区间和所述第一水洗区间之间，且设置有水平方向的传动装置；

所述过渡区间被一挡板分隔为药液回收室和水回收室；所述药液回收室设置有至少一个空气刀装置，所述空气刀装置用于吹除基板上携带的药液，所述水回收室设置有至少一个水刀装置，所述水刀装置用于喷水冲洗基板；

所述挡板上设置有基板通道，以便于传动装置上的基板不被所述挡板阻隔，在所述基板通道的上方设置有空气帘装置，所述空气帘装置向下方鼓风，用于阻隔所述空气刀装置吹除的药液进入所述水回收室，并用于阻隔所述水刀装置喷出的水进入所述药液回收室；

此外，所述药液回收室底部设置有药液回流管道，所述药液回收室通过所述药液回流管道与所述药液供给区间相连，用于收集药液并输送给所述药液供给区间进行再利用；

所述水回收室底部设置有水回流管道，所述水回收室通过水回流管道与所述第一水供给单元、第二水供给单元相连，用于收集所述水刀装置进行基板冲洗后的水并输送给所述第一水供给单元、第二水供给单元进行再利用。

4.根据权利要求3所述的基板清洗系统，其特征在于，所述药液回收室与所述水回收室的上方均设置有排气管道，用于维持所述药液回收室与所述水回收室的气压稳定。

5.根据权利要求1所述的基板清洗系统，其特征在于，还包括：

在所述第一水洗区间和第二水洗区间之间设置至少一个与所述第一水洗区间构造相同的冲洗单元，用于进一步对基板进行冲洗；

所述冲洗单元连接有与所述第一水供给单元构造相同的第一供水装置、与所述第二水供给单元构造相同的第二供水装置。

6.根据权利要求5所述的基板清洗系统，其特征在于，所述冲洗单元与第一供水装置、第二供水装置的连接关系与所述第一水洗区间、第一水供给单元、第二水供给单元间的连接关系相同，所述第一供水装置、第二供水装置与所述水回收单元相连，以接收所述水回收单元提供的水。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板清洗系统，其特征在于，还包括：

在所述第一水供给单元、第二水供给单元、第一供水装置、第二供水装置中设置温控系统，用于控制水的温度；

在所述第一水供给单元、第二水供给单元、第一供水装置、第二供水装置中设置测量液位高度的传感器，用于采集所述第一水供给单元、第二水供给单元、第一供水装置、第二供水装置中的液位信息。

8.根据权利要求7所述的基板清洗系统，其特征在于，在所述第一水供给单元、第二水供给单元、第一供水装置、第二供水装置、水回收单元的顶部还设置有溢出口，当水位达到或高于溢出口的高度时，水能够通过所述溢出口经管道排出；

在所述水回收单元中设置有水电阻值检测装置，用于实时检测水质；

在所述第一水供给单元、第二水供给单元、水回收单元、过渡区间的液体流入或流出通道上设置有气动阀门，用于控制水是否流入流出。

9.根据权利要求8所述的基板清洗系统，其特征在于，还包括：

可编程逻辑控制器PLC，所述可编程逻辑控制器PLC用于对所述第一水供给单元、第二水供给单元、第一供水装置、第二供水装置、水回收单元、过渡区间的液体流入或流出通道上的阀门进行开启、关闭控制。