[发明专利]缺陷检测方法

权利要求书

1.一种缺陷检测方法，其特征在于，包括步骤：

提供母本衬底一目标单元片上多个区域的区域母本阈值；

提供待检衬底，选定所述待检衬底上一待检单元片和相邻单元片；

将所述待检单元片和相邻单元片划分为多个区域，并获取所述待检单元片上每个区域的区域待检像素和相邻单元片上的每个区域的区域参考像素；

根据所述区域待检像素和区域参考像素，计算待检单元片和相邻单元片上每个区域的区域待检值和区域参考值，获得所述区域待检值和区域参考值的之间的差值并以之作为区域差值，所述区域差值为绝对值；比较所述区域差值与区域母本阈值的大小，当所述区域差值大于区域母本阈值时，判定有缺陷的存在。

2.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述母本衬底和待检衬底上有多个具有相同构图的单元片。

3.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述待检衬底上待检单元片的区域待检值为：区域待检像素的灰度值、区域待检像素的最大灰度值和最小灰度值的差值、区域待检像素灰度值的平均值或区域待检像素灰度值的方差值。

4.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述待检衬底上相邻单元片的区域参考值为：区域参考像素的灰度值、区域参考像素的最大灰度值和最小灰度值的差值、区域参考像素灰度值的平均值或区域参考像素灰度值的方差值。

5.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述相邻单元片的数量等于或大于1。

6.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述区域母本阈值的获得方法为：提供母本衬底；选定所述母本衬底上一目标单元片和相邻单元片；将所述目标单元片和相邻单元片划分为数量和位置相同的N个区域，获得所述目标单元片第1～N个区域的区域母本已检像素和相邻单元片上相应第1～N个区域的区域参考像素；根据所述区域母本已检像素和区域参考像素的灰度值，计算所述目标单元片第1～N个区域的区域母本已检值和相邻单元片相应第1～N个区域的区域参考值；获得所述目标单元片上第1～N个区域的区域母本已检值和相邻单元片上对应第1～N个区域的区域参考值的之间差值，以所述差值作为区域母本阈值，所述区域母本阈值为绝对值。

7.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述第N区域的区域母本已检值为第1～N-1个区域的区域母本已检值的加权平均值。

8.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述第N区域的参考值为第1～N-1个区域的参考值的加权平均值。

9.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述母本衬底目标单元片上区域的划分为用户通过人机界面单元实现。

10.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述母本衬底目标单元片和相邻单元片上区域的划分数量N等于或大于3。

11.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，还包括，存储所述区域母本已检值、区域母本阈值和母本衬底上目标单元片的区域划分线位置信息。

12.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述母本衬底上目标单元片的区域母本已检值为：区域母本已检像素的灰度值、区域母本已检像素的最大灰度值和最小灰度值的差值、区域母本已检像素灰度值的平均值或区域母本已检像素灰度值的方差值。

13.如权利要求6所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述母本衬底上相邻单元片的区域参考值为：区域参考像素的灰度值、区域参考像素的最大灰度值和最小灰度值的差值、区域参考像素灰度值的平均值或区域参考像素灰度值的方差值。

14.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述区域母本阈值为用户通过人机界面单元输入的值。

15.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述待检衬底上待检单元片和相邻单元片上区域划分的数量和位置与母本衬底一目标单元片上区域划分的数量和位置相同。

16.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，还包括，给出缺陷存在的报警信号。