[发明专利]用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及等离子显示屏制作领域，具体而言，涉及一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置。

背景技术

通用的交流气体放电等离子显示屏均采用表面放电型结构，该结构包括一个前基板及与之封接在一起的后基板。前基板上配置有透明电极ITO和汇流电极，透明电极和汇流电极构成放电电极。放电电极又分为维持放电电极X和扫描放电电极Y，在放电电极的表面覆盖有一层介质层，介质层上覆盖保护层该保护层通常是氧化镁膜。后基板上配置有与放电电极相互垂直的寻址电极，寻址电极上覆盖一层介质层，介质层上配置有与其寻址电极平行的条状障壁，且在条状障壁的底部覆盖有荧光粉层，前后基板用低熔点玻璃粉封接在一起，并且在其间充有放电气体。

目前，为了提高等离子显示屏的产品质量，提高等离子显示屏的光效，降低其工作电压，通常在放电电极表面的介质层上覆盖一层氧化镁保护层。通常的做法是用电子束蒸镀的方法，在PDP前基板屏介质层表面形成的氧化镁层，其特点是对介质层的保护效果好，而且能产生大量的二次电子，可降低屏的着火电压，减小放电延迟时间。

但是，随着全高清电视的出现，PDP显示屏的像素节距越来越小，造成的直接影响是屏的放电空间减少，降低亮度，又因为行数增加，需要进一步减少放电延迟时间，仅仅在介质层上覆盖一层氧化镁保护层所达到的效果已不能满足全高清PDP显示屏的质量要求。

发明内容

本发明旨在提供一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置，以实现在同一蒸镀装置上能够蒸镀两层不同面积的保护层。

为了实现上述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置。该用于等离子显示屏保护层形成的蒸镀装置包括：第一蒸镀材料盛放部，处于第一位置；第二蒸镀材料盛放部，处于第二位置，第二蒸镀材料盛放部与第一蒸镀材料盛放部的位置能够互换；电子枪，设置在第一位置的上方，用于发射电子束溅射蒸镀材料；以及定向遮挡板，其上设置有定向通孔，可移动的设置在电子枪与待蒸镀的上基板之间。

进一步地，定向遮挡板的定向通孔的位置设置在空间直角坐标系中的B点(X₁，Y₁，Z₁)，空间直角坐标系包括相互垂直的X轴、Y轴和Z轴，B点的位置通过下列公式求得：

X-X₂/X₂-X₀＝Y-Y₂/Y₂-Y₀＝Z-Z₂/Z₂-Z₀       ①

Z＝Z₁                          ②

其中，公式①为空间直线方程；公式②为遮挡板(4)所在空间平面的平面方程，其高度为Z₁；B点(X₁，Y₁，Z₁)为所述空间直线和所述空间平面的相交点，且与A点的沿Z轴方向的距离为Z₁，其中，A点是电子束打到需要蒸镀的材料上的溅射点，C点是需要在上基板的氧化镁层上蒸镀的范围，B点是遮挡板上定向通孔的位置。

进一步地，定向遮挡板的材质为不锈钢，厚度为0.3～0.5mm，定向通孔的孔径为0.11～0.13mm。在此范围内能够得到合适的蒸镀层。

进一步地，该蒸镀装置包括：第一蒸镀材料盛放部处于第一位置，电子枪溅射第一蒸镀材料，上基板匀速运动第一次经过第一位置上方；第二蒸镀材料盛放部与第一蒸镀材料盛放部位置互换，第二蒸镀材料盛放部处于第一位置，电子枪溅射第二蒸镀材料，上基板在定向遮挡板的遮挡下匀速运动第二次经过第一位置上方，其中，定向遮挡板与上基板以相同的速度经过第一位置上方。

进一步地，第一蒸镀材料盛放部是匀速沿自身轴心旋转的一组坩埚中的每个坩埚的一半，第二蒸镀材料盛放部是一组坩埚中的每个坩埚的另一半。

进一步地，一组坩埚的排布方向垂直于上基板的运动方向。

进一步地，坩埚旋转半周的时间与上基板一次经过第一位置上方的时间相等。

进一步地，第一蒸镀材料盛放部是沿自身轴心旋转的第一组坩埚，第二蒸镀材料盛放部是沿自身轴心旋转的第二组坩埚，第一组坩埚和第二组坩埚处于第一位置时的排布方向垂直于上基板的运动方向。