[发明专利]用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置

权利要求书

1.一种用于形成等离子显示屏保护层的蒸镀装置，其特征在于，包括：

第一蒸镀材料盛放部(11)，处于第一位置；

第二蒸镀材料盛放部(12)，处于第二位置，所述第二蒸镀材料盛放部(12)与所述第一蒸镀材料盛放部(11)的位置能够互换；

电子枪(3)，设置在所述第一位置的上方，用于发射电子束溅射蒸镀材料；以及定向遮挡板(4)，其上设置有定向通孔，可移动地设置在所述电子枪(3)与待蒸镀的上基板(2)之间。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述定向遮挡板(4)的定向通孔的位置设置在空间直角坐标系中的B点(X₁，Y₁，Z₁)，所述空间直角坐标系包括相互垂直的X轴、Y轴和Z轴，所述B点的位置通过下列公式求得：

X-X₂/X₂-X₀＝Y-Y₂/Y₂-Y₀＝Z-Z₂/Z₂-Z₀     ①

Z＝Z₁                                  ②

其中，公式①为空间直线方程；公式②为遮挡板(4)所在空间平面的平面方程，其高度为Z₁；B点(X₁，Y₁，Z₁)为所述空间直线和所述空间平面的相交点，且与A点的沿Z轴方向的距离为Z₁，其中，A点是电子束打到需要蒸镀的材料上的溅射点，C点是需要在上基板的氧化镁层上蒸镀的范围，B点是遮挡板上定向通孔的位置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述定向遮挡板(4)的材质为不锈钢，厚度为0.3-0.5mm，所述定向通孔的孔径为0.11～0.13mm。

4.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：

所述第一蒸镀材料盛放部(11)处于所述第一位置时，所述电子枪(13)溅射所述第一蒸镀材料，并且所述上基板(2)匀速运动第一次经过所述第一位置上方；

所述第二蒸镀材料盛放部(12)与所述第一蒸镀材料盛放部(11)位置互换，使得所述第二蒸镀材料盛放部(12)处于所述第一位置后，所述电子枪溅射所述第二蒸镀材料，所述上基板(2)在所述定向遮挡板(4)的遮挡下匀速运动第二次经过所述第一位置上方，

其中，所述定向遮挡板(4)与所述上基板(2)以相同的速度经过所述第一位置上方。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一蒸镀材料盛放部(11)是匀速沿自身轴心旋转的一组坩埚中的每个所述坩埚的一半，所述第二蒸镀材料盛放部(12)是所述一组坩埚中的每个所述坩埚的另一半。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述一组坩埚的排布方向垂直于所述上基板(2)的运动方向。

7.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述坩埚旋转半周的时间与所述上基板(2)一次经过所述第一位置上方的时间相等。

8.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一蒸镀材料盛放部(11)是沿自身轴心旋转的第一组坩埚，所述第二蒸镀材料盛放部(12)是沿自身轴心旋转的第二组坩埚，所述第一组坩埚或所述第二组坩埚处于所述第一位置时的排布方向垂直于所述上基板的运动方向。

9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一组坩埚与所述第二组坩埚分别为两个坩埚，四个坩埚支撑在十字型支撑架的沿水平方向的四个端部，所述十字型支撑架的中部具有竖直延伸的旋转轴。

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置配置为使得在所述上基板(2)第一次经过所述第一位置上方后，使所述十字型支撑架绕其旋转轴运动，互换所述第一组坩埚和所述第二组坩埚的位置，然后使所述上基板(2)第二次经过所述第一位置上。