[发明专利]一种金刚石的制备方法

权利要求书

1.一种金刚石的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；

通过载气运输方式将含碳前驱体输送至所述原子层沉积设备反应腔中；

通过等离子体放电，使得含碳前驱体中的碳原子在硅衬底上积累，自发形成金刚石结构。

2.如权利要求1所述的金刚石的制备方法，其特征在于，所述将硅衬底放置于原子层沉积设备反应腔中的步骤之前还包括：所述硅衬底的表面经过标准液清洗。

3.如权利要求1所述的金刚石的制备方法，其特征在于，所述载气为氢气。

4.如权利要求1所述的金刚石的制备方法，其特征在于，所述载气的流量为20sccm-100sccm。

5.如权利要求1所述的金刚石的制备方法，其特征在于，所述含碳前驱体为甲烷、乙烯、乙炔、四氯化碳、四溴化碳、二氯甲烷。

6.如权利要求1所述的金刚石的制备方法，其特征在于，所述含碳前驱体的流量为1sccm-10sccm。

7.如权利要求1所述的金刚石的制备方法，其特征在于，所述载气与所述含碳前驱体的体积比为40:1-20:1。

8.如权利要求1所述的金刚石的制备方法，其特征在于，所述等离子体放电过程中，等离子体功率为20W-150W。