[发明专利]一种用于测量低波数拉曼信号的单光栅拉曼光谱测试系统无效
| 申请号： | 201110283005.6 | 申请日： | 2011-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN102374901A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 谭平恒;韩文鹏;厉巧巧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01J3/44 | 分类号： | G01J3/44 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 低波数拉曼 信号 光栅 光谱 测试 系统 | ||
1.一种用于测量低波数拉曼信号的单光栅拉曼光谱测试系统，其特征在于，包括：
激光源(Ls)；
体光栅带通滤光片(VGBF)，位于激光光路上，用于过滤掉激光的等离子线而纯化激光线；
分束器(BS)，位于体光栅带通滤光片(VGBF)将激光反射后的光路上，用于将经体光栅带通滤光片(VGBF)纯化的激光反射到显微物镜(Ob1)；
显微物镜(Ob1)，用于将激光聚焦到样品(Sp)上来激发拉曼光谱信号；
三个依次排列的体光栅陷波滤光片(VGNF1、VGNF2、VGNF3)，位于样品拉曼信号光经显微物镜(Ob1)收集并穿过分束器(BS)之后的光路上；
聚焦透镜(Ob2)，用于将拉曼信号汇聚入单光栅光谱仪(Spec)的入口处；以及
含探测器的单光栅光谱仪(Spce)，用于收集拉曼信号。
2.根据权利要求1所述的用于测量低波数拉曼信号的单光栅拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述体光栅带通滤光片(VGBF)的带宽小于10波数，衍射效率大于90％。
3.根据权利要求1所述的用于测量低波数拉曼信号的单光栅拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述三个体光栅陷波滤光片(VGNF1、VGNF2、VGNF3)的衰减均大于99.9％。
4.根据权利要求1所述的用于测量低波数拉曼信号的单光栅拉曼光谱测试系统，其特征在于，所述三个体光栅陷波滤光片(VGNF1、VGNF2、VGNF3)的带宽均小于10波数。
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