[发明专利]线阵CCD的一种抗晕结构

权利要求书

1.线阵CCD的一种抗晕结构，包括：设置在第一结构层（Ⅰ）上的存储栅（2）和抗晕栅（4），设置在第二结构层（Ⅱ）上的N区信道（1）、N-溢出势垒区（4-1）和抗晕漏（3），第一结构层（Ⅰ）和第二结构层（Ⅱ）之间通过SiO₂（5）层隔离；位置互相匹配的一条存储栅（2）、一条N区信道（1）和一个N-溢出势垒区（4-1）即形成一个信号单元；位置相互对应的一个抗晕漏（3）和一条抗晕栅（4）即形成一个抗晕单元；位置互相对应的一个信号单元和一个抗晕单元即形成一个像元，多个像元按线阵排列组成线阵CCD；

其特征在于：在第二结构层（Ⅱ）上，每间隔两个信号单元设置一抗晕单元，由抗晕单元两侧的信号单元共用一个抗晕单元；

具体来说：设有位置顺次排列的第一信号单元、第一抗晕单元和第二信号单元，第一信号单元和第二信号单元共用第一抗晕单元，第一信号单元和第一抗晕单元即形成第一像元，第二信号单元和第一抗晕单元即形成第二像元；

第一信号单元和第二信号单元各自对应一个N-溢出势垒区（4-1），两个N-溢出势垒区（4-1）之间设置有一N型掺杂区（3-2），N型掺杂区（3-2）用于抑制第一像元和第二像元内的信号相互溢出。