[发明专利]一种防止反应室反气的装置及方法

说明书

技术领域

本发明属于MOCVD生产技术领域，具体涉及一种防止反应室反气的装置及方法。

背景技术

MOCVD是金属有机化合物化学气相淀积(Metal-organic Chemical Vapor Deposition)的英源使用文缩写，在MOCVD生产中，正常情况下，反应室压力为20torr，尾气泵压力为760torr，通过尾气泵将反应后的尾气抽出。但由于事故等原因引起紧急停电时，尾气泵会停止工作，此时反应室和尾气泵之间产生负压，导致尾气从尾气泵回流至反应室而产生反气，这种反气会污染反应室，对生产设备影响很大。目前解决方案主要是采用UPS(可持续电源)，通过UPS的短时间可持续供电来应急，但对于MOCVD这种大型设备，需UPS的蓄电量很大才能满足要求，而且UPS价格昂贵。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种防止反应室反气的装置及方法，采用该装置及方法，当发生紧急停电时，能够在第一时间将尾气阻挡在反应室外边，防止反应室被污染，具有结构及操作简单、价格低廉、节约能源的特点。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种防止反应室反气的装置，包括有反应室1，和反应室1相连通的尾气泵7，在反应室1和尾气泵7之间设有单向阀6。

一种防止反应室反气的装置，包括有反应室1，和反应室1相连通的尾气泵7，具体连接方式也可是在反应室1与尾气泵6之间依次设有第一手动球阀2、过滤器3、第二手动球阀4、蝶阀5，在蝶阀5和尾气泵7之间设有单向阀6。

所述单向阀6为气流只能一个方向流动而不能反向流动的方向控制阀。

所述单向阀6的正向压差大于25torr。

所述单向阀6的材料为不锈钢材料。

一种防止反应室反气的方法，在反应室1和尾气泵7之间安装单向阀6。

在安装单向阀6前清理干净连接的接口。

本发明的装置及方法通过在反应室1和尾气泵7之间安装一个单向阀6来解决反气问题，利用单向阀6的单向导通原理，当发生紧急停电时，尾气泵7停止工作，单向阀6可以防止尾气从尾气泵7回流至反应室1，防止反应室1被污染，该装置和方法具有结构及操作简单、价格低廉、节约能源的特点。

附图说明

附图为本发明装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详细说明。

如附图所示，本发明一种防止反应室反气的装置，包括有反应室1，反应室1与尾气泵7相连通，在反应室1与尾气泵7之间依次设有第一手动球阀2、过滤器3、第二手动球阀4、蝶阀5，在蝶阀5和尾气泵7之间设有单向阀6，反应室1用于生长外延片，维修或清理反应室1和过滤器3时分别用第一手动球阀2和第二手动球阀4来隔离，蝶阀5的作用是控制压力，尾气泵7是用来抽反应室气体，控制反应室1的压力。

本发明一种防止反应室反气的方法，在反应室1和尾气泵7之间安装单向阀6，该单向阀6安装在蝶阀5和尾气泵7之间，在安装单向阀6前清理干净连接的接口，以防止气体内漏。

本发明的工作原理是：通过在反应室1和尾气泵7之间安装一个单向阀6来解决反气问题，利用单向阀的单向导通原理，当发生紧急停电时，尾气泵7停止工作，设在蝶阀5与尾气泵7之间的单向阀6可以防止尾气从尾气泵回流至反应室而产生反气，防止反应室1被污染。