[发明专利]一种防止反应室反气的装置及方法

权利要求书

1.一种防止反应室反气的装置，包括有反应室(1)，和反应室(1)相连通的尾气泵(7)，其特征在于：在反应室(1)和尾气泵(7)之间设有单向阀(6)。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：在反应室(1)与尾气泵(7)之间依次设有第一手动球阀(2)、过滤器(3)、第二手动球阀(4)和蝶阀(5)，在蝶阀(5)和尾气泵(7)之间设有单向阀(6)。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述单向阀(6)为气流只能一个方向流动而不能反向流动的方向控制阀。

4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述单向阀(6)的正向压差大于25torr。

5.根据权利要求2所述的装置，其特征在于：所述单向阀(6)的材料为不锈钢材料。

6.一种防止反应室反气的方法，其特征在于：在反应室(1)和尾气泵(7)之间安装单向阀(6)。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：在安装单向阀(6)前清理干净连接的接口。