[发明专利]固体紫外光电管制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种紫外光电管的制作方法，特别涉及一种固体紫外光电管的制作方法。

背景技术

紫外光电管常应用于火焰监控和火灾报警中，目前的紫外光电管都是采用透紫玻璃或石英玻璃作为外壳和光窗，利用钼、镍等金属材料作为光电子发射阴极，用玻壳把阴阳极封装在光电管里边，然后通过排气之后再充入工作气体，像制作灯泡一样制作完成。传统制作方法工艺复杂，制作的紫外管体积大、强度小、灵敏度低。

申请号为200810044571.X的中国发明专利公开了一种紫外火焰传感器及其制作方法，包括透紫玻璃片；网状阳极，该阳极层制作在透紫玻璃片上；阴极衬底玻璃片；光电阴极，该层制作在阴极衬底玻璃片上面；玻璃环，该玻璃环制作在阴极和阳极中间；抽真空口，该抽真空口制作在玻璃环上；塑封底座，该底座制作在阴极衬底玻璃下面；阴极和阳极引出线，该引出线粘接在塑封底座上，分别与阴极和阳极引出线相连接；塑料外壳，该外壳制作在塑封底座、玻璃环和玻璃片周围。该发明结构简单、尺寸小、强度高、灵敏度较高。但是，在制作紫外火焰传感器过程中，玻璃环与带电极的紫外玻璃片粘接形成玻璃腔体时，难以保证阴极和阳极之间的极间距离和平行度，影响器件工作时间和使用寿命，产品的成品率和一致性低，生产自动化程度低、抗震性抗冲击性差。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中所存在的上述不足，提供一种固体紫外光电管的制作方法，该方法保证阳极和阴极之间的极间距离和平行度，同时利用该方法制作的固体紫外光电管灵敏度高、体积小、生产自动化程度高、抗震性抗冲击性好。

为了实现上述发明目的，本发明采用以下技术方案：                                                                                                                                                       

一种固体紫外光电管的制作方法，步骤如下包括：

a）采用透紫材料制作光窗和阳极；制作电极阴极；制作极间绝缘件，极间绝缘件包括第一极间绝缘件和第二极间绝缘件；

b）分别将第一极间绝缘件和第二极间绝缘件与阳极和阴极金属化连接；将阴极引脚和阳极引脚金属化连接在阴极下表面；将阳极引脚与阳极连接导通,阴极引脚与阴极连接导通；将阳极引脚和阴极引脚设置伸出管座之外，所述阳极引脚与管座连接处通过非金属材料隔离层隔开，所述阴极引脚与管座连通。

c）通过玻璃焊料或可伐材料将管壳和光窗封接为一体；

d）将管壳与管座封装抽真空连接为一体。

所述步骤a）中阳极的制作方法包括将透紫材料基体表面采用真空镀膜工艺镀金属膜制作阳极，并通过光刻、掩膜、腐蚀工艺将所述金属膜制成网状或丝状结构。

所述步骤a）中阳极的制作方法还包括将阳极附着于光窗背面与光窗做成一体结构。

所述步骤b）中极间绝缘件的制作方法包括采用真空镀膜工艺在陶瓷基体表面镀金属膜。

所述步骤a）中阴极的制作方法包括采用真空镀膜工艺在陶瓷基体表面镀金属膜，该金属膜即为阴极。

所述步骤b)中阳极引脚与阳极连接导通,阴极引脚与阴极连接导通的方法包括：

在所述阴极表面上靠近第一极间绝缘件内侧处设有至少一圈第一竖向刻痕，在所述阴极表面上靠近第二极间绝缘件内侧处设有至少一圈第二竖向刻痕，所述第一竖向刻痕和第二竖向刻痕将所述阴极表面金属膜竖向断开为三部分，即第一阳极区、阴极区、第二阳极区；

在所述第一阳极区或第二阳极区下端连接阳极引脚，在所述阴极区的下端连接阴极引脚。

所述步骤b)中阳极引脚与阳极连接导通,阴极引脚与阴极连接导通的方法还可以是：

在所述阴极表面上设有至少一圈竖向刻痕，所述竖向刻痕将阴极表面金属膜竖向断开为两部分，即第一区域和第二区域，并且所述竖向刻痕靠近第二极间绝缘件内侧处；

在第一极间绝缘件上设有至少一圈横向刻痕，所述横向刻痕将第一极间绝缘件表面金属膜横向断开为两部分；

在所述第一区域下端连接阴极引脚，在所述第二区域下端连接阳极引脚。

与现有技术相比，本发明的有益效果：