[发明专利]固体紫外光电管制作方法

权利要求书

1.一种固体紫外光电管的制作方法，其特征在于，所述方法步骤包括：

a）采用透紫材料制作光窗（2）和阳极（3）；制作电极阴极（4）；制作极间绝缘件（6），极间绝缘件（6）包括第一极间绝缘件61和第二极间绝缘件62；

b）分别将第一极间绝缘件61和第二极间绝缘件62与阳极3和阴极4金属化连接；将阴极引脚7和阳极引脚8金属化连接在阴极4下表面；将阳极引脚（7）与阳极（3）连接导通,阴极引脚（8）与阴极（4）连接导通；将阳极引脚（7）和阴极引脚（8）设置伸出管座（5）之外，所述阳极引脚（7）与管座（5）连接处通过非金属材料隔离层（9）隔开，所述阴极引脚（8）与管座（5）连通；

c）通过玻璃焊料或可伐材料将管壳（1）和光窗（2）封接为一体；

d）将管壳（1）与管座（5）封装抽真空连接为一体。

2.根据权利要求1所述的固体紫外光电管的制作方法，其特征在于，所述步骤a）中阳极（3）的制作方法包括将透紫材料基体表面采用真空镀膜工艺镀金属膜制作阳极（3），并通过光刻、掩膜、腐蚀工艺将所述金属膜制成网状。

3.根据权利要求1所述的固体紫外光电管的制作方法，其特征在于，所述步骤a）中阳极（3）的制作方法包括将透紫材料基体表面采用真空镀膜工艺镀金属膜制作阳极（3），并通过光刻、掩膜、腐蚀工艺将所述金属膜制成丝状。

4.根据权利要求2或3所述的固体紫外光电管的制作方法，其特征在于，所述步骤a）中阳极（3）的制作方法还包括将阳极（3）附着于光窗（2）背面与光窗（2）做成一体结构。

5.根据权利要求4所述的固体紫外光电管的制作方法，其特征在于，所述步骤b）中极间绝缘件6的制作方法包括采用真空镀膜工艺在陶瓷基体表面镀金属膜。

6.根据权利要求5所述的固体紫外光电管的制作方法，其特征在于，所述步骤a）中阴极（4）的制作方法包括采用真空镀膜工艺在陶瓷基体表面镀金属膜，该金属膜即为阴极（4）。

7.根据权利要求6所述的固体紫外光电管的制作方法，其特征在于，所述步骤b）中阳极引脚（7）与阳极（3）、阴极引脚（8）与阴极（4）的连接导通的方法包括：

在所述阴极（4）表面上靠近第一极间绝缘件（61）内侧处设有至少一圈第一竖向刻痕，在所述阴极（4）表面上靠近第二极间绝缘件（62）内侧处设有至少一圈第二竖向刻痕，所述第一竖向刻痕和第二竖向刻痕将所述阴极（4）表面金属膜竖向断开为三部分，即第一阳极区、阴极区、第二阳极区；

在所述第一阳极区或第二阳极区下端连接阳极引脚（7），在所述阴极区的下端连接阴极引脚（8）。

8.根据权利要求6所述的固体紫外光电管的制作方法，其特征在于，所述步骤b）中阳极引脚（7）与阳极（3）、阴极引脚（8）与阴极（4）连接导通的方法包括：

在所述阴极（4）表面上设有至少一圈竖向刻痕，所述竖向刻痕将阴极（4）表面金属膜竖向断开为两部分，即第一区域和第二区域，并且所述竖向刻痕靠近第二极间绝缘件（62）内侧处；

在第一极间绝缘件（61）上设有至少一圈横向刻痕，所述横向刻痕将第一极间绝缘件（61）表面金属膜横向断开为两部分；

在所述第一区域下端连接阴极引脚（8），在所述第二区域下端连接阳极引脚（7）。