[发明专利]镀膜件及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201110267028.8 申请日: 2011-09-09
公开(公告)号: CN102994954A 公开(公告)日: 2013-03-27
发明(设计)人: 陈正士;李聪 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号: C23C14/16 分类号: C23C14/16;C23C14/06;C23C14/35;B32B9/04;B32B15/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 镀膜 及其 制备 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种镀膜件及其制备方法。

背景技术

铌基合金具有较高的熔点(>1700℃),较低的密度(6.6~7.2g/cm3),良好的室温断裂韧性(>20Mpa.m1/2),良好的高温强度及铸造性能。然而,铌基合金抗氧化性能差,在温度较高的条件下(1200℃~1400℃或更高温度)使用时存在严重的氧化现象。

发明内容

有鉴于此,有必要提供一种提高铌基合金抗高温氧化性能的镀膜件。

另外,还有必要提供一种上述镀膜件的制备方法。

一种镀膜件,其包括基材、形成于基材表面的复合层及形成于复合层表面的铬氧氮层,该复合层包括若干镍铝钬层和若干金属铱层,该镍铝钬层和金属铱层交替排布,其中该复合层中与所述基材直接相结合的是镍铝钬层,与铬氧氮层直接相结合的为金属铱层。

一种镀膜件的制备方法,其包括如下步骤:

提供基材;

在该基材的表面形成镍铝钬层;

在该镍铝钬层的表面形成金属铱层;

交替重复上述形成镍铝钬层和金属铱层的步骤制备所述复合层,且使复合层的最外层为金属铱层;

在该复合层的表面形成铬氧氮层。

本发明复合层包括若干镍铝钬层和若干金属铱层,镍铝钬层具有优异的抗氧化性能;金属铱层在高温条件下氧渗透率低,可以有效阻止氧朝基材内扩散;最外层铬氧氮层膜层致密,可有效延缓氧朝基材的方向扩散,从而进一步保护复合层和基材;因此所镀膜层使所述镀膜件具有良好的抗高温氧化性能,从而有效提高镀膜件的使用寿命。

附图说明

图1为本发明一较佳实施例的镀膜件的剖视图;

图2为本发明一较佳实施例真空镀膜机的俯视示意图。

主要元件符号说明

镀膜件10基材11复合层13镍铝钬层131金属铱层133铬氧氮层15真空镀膜机20镀膜室21铱靶23镍铝钬靶24铬靶26轨迹25真空泵30

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

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