[发明专利]基板压合设备及其轮盘稳定装置有效
申请号: | 201110264986.X | 申请日: | 2011-09-08 |
公开(公告)号: | CN102412164A | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 陈春松 | 申请(专利权)人: | 友达光电(上海)有限公司;友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 201613 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板压合 设备 及其 轮盘 稳定 装置 | ||
1.一种轮盘稳定装置,适于稳定一轮盘的转动,其特征在于,包含:
一固定座,包含一第一贯穿通道;
一摩擦块,抵触所述轮盘的一周面,并与所述周面保持一摩擦阻力;
一轴杆,包含相对的第一端及第二端,所述第一端连接所述摩擦块,所述第二端穿过所述第一贯穿通道;
一弹簧,套设于所述轴杆上,其两端分别抵靠所述摩擦块与所述固定座;以及
一限位件,当所述轴杆的所述第二端穿过所述第一贯穿通道后,所述限位件设置于所述第二端上,使所述轴杆的所述第二端被限位于所述固定座相对所述轮盘的一侧,
其中当所述轮盘转动并推动所述摩擦块时,所述摩擦块、所述轴杆及所述限位件同步沿所述轴杆的一长轴方向远离所述轮盘,且所述摩擦块与所述固定座压缩所述弹簧。
2.根据权利要求1所述的轮盘稳定装置,其特征在于,所述固定座的所述第一贯穿通道的口径大于所述轴杆的截面积,使得所述轴杆与固定座之间存在一间隙,所述间隙满足所述轴杆于所述第一贯穿通道中转动。
3.根据权利要求2所述的轮盘稳定装置,其特征在于,更包含:
一回复件,位于所述轴杆上,用以回复所述轴杆至所述轴杆转动前的位置。
4.根据权利要求2所述的轮盘稳定装置,其特征在于,更包含:
一护套,可活动地穿设于所述第一贯穿通道中,其内包含一第二贯穿通道,其中所述轴杆的所述第二端穿过所述第二贯穿通道。
5.根据权利要求4所述的轮盘稳定装置,其特征在于,所述固定座的所述第一贯穿通道的口径大于所述护套的外径,使得所述护套与所述固定座之间存在一间隙,所述间隙以满足所述轴杆与所述护套于所述第一贯穿通道中转动。
6.根据权利要求5所述的轮盘稳定装置,其特征在于,更包含:
一枢轴座;以及
一轴套,枢设于所述枢轴座上,包含一贯穿道,当所述轴杆的所述第二端穿过所述第一贯穿通道后,所述轴杆的所述第二端更伸入所述贯穿道中;
其中当所述轮盘转动并推动所述摩擦块的后,所述轴杆与所述轴套更随所述轮盘的转动而同步转动一角度。
7.根据权利要求6所述的轮盘稳定装置,其特征在于,更包含:
一回复件,位于所述轴杆与所述固定座之间,用以回复所述轴杆至所述轴杆转动前的位置。
8.根据权利要求1所述的轮盘稳定装置,其特征在于,所述轴杆为一螺杆。
9.根据权利要求8所述的轮盘稳定装置,其特征在于,所述限位件为限位螺母,所述限位螺母螺合于所述螺杆的所述第二端,且朝所述摩擦块的方向紧迫。
10.一种基板压合设备,其特征在于,包含:
一机台;
一轮盘,位于所述机台上,承载一料带,并包含一周面;以及
如权利要求1至9中任意一项权利要求所述的轮盘稳定装置,所述固定座位于所述机台上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造