[发明专利]压电装置的制造方法及压电装置

权利要求书

1.一种压电装置的制造方法，其特征在于，

使用基部和在其基部的周围形成有多个贯通孔的基部晶片，制造具有压电振动片和所述基部的压电装置，包含：

所述基部晶片由玻璃或压电材料构成，在所述基部晶片的第1面和所述第1面的相反侧的第2面上形成耐蚀膜的耐蚀膜形成工序；

在所述耐蚀膜上形成光致抗蚀剂并进行曝光后，对与所述贯通孔对应的所述耐蚀膜进行金属蚀刻的金属蚀刻工序；

在所述金属蚀刻工序之后，将所述玻璃或压电材料浸在蚀刻液中从所述基部晶片的所述第1面和所述第2面进行湿刻，湿刻至所述玻璃或压电材料马上就要贯通的程度的湿刻工序；以及

在所述第2面上形成有耐蚀膜的状态下，从所述第2面侧吹付研磨材料的喷砂工序。

2.根据权利要求1所述的压电装置的制造方法，其特征在于，

在所述喷砂工序中，在所述第1面上形成有耐蚀膜的状态下，从所述第1面侧吹付研磨材料。

3.根据权利要求1或2所述的压电装置的制造方法，其特征在于，具有：

在所述喷砂工序后，除去所述耐蚀膜的除去工序；

在所述除去工序后，在所述第2面上形成实装用的外部电极和在所述贯通孔上形成侧面电极的工序。

4.根据所述权利要求1至3的任意一项所述的压电装置的制造方法，其特征在于，

所述基部从所述第2面侧观察为具有4个边的矩形形状，所述贯通孔是形成在所述基部的相邻的角上的圆孔。

5.根据权利要求1至3的任意一项所述的压电装置的制造方法，其特征在于，

所述基部从所述第2面侧观察为具有4个边的矩形形状，所述贯通孔是形成在所述基部的相邻的边上的长孔。

6.一种压电装置，其特征在于，

具有配置在由盖部和基部形成的空腔内的压电振动片，

所述基部具备：形成一对外部电极的第1面；所述第1面的相反侧的第2面；以及在所述第2面通过连结所述第1面和所述第2面的侧面与所述外部电极连接的一对连接电极，

连结所述第1面和所述第2面的侧面的剖面包含：从所述第1面至中央的第1区域；从所述第2面至所述中央的第2区域；以及在所述中央从所述第1区域及第2区域向外侧突出的突出区域。

7.根据权利要求6所述的压电装置，其特征在于，

所述第2面通过喷砂实现粗面化。

8.根据权利要求7所述的压电装置，其特征在于，

所述第1面通过喷砂实现粗面化。