[发明专利]压电装置有效
申请号: | 201110264614.7 | 申请日: | 2011-09-05 |
公开(公告)号: | CN102420580A | 公开(公告)日: | 2012-04-18 |
发明(设计)人: | 水泽周一 | 申请(专利权)人: | 日本电波工业株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H3/02;H01L41/09;H01L41/053 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 张敬强;李家浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 装置 | ||
1.一种压电装置,其特征在于,
收放有利用电压的施加进行振动的压电振动片,
具备:
具有以规定的宽度形成在平面的周围的第1端面的盖部;以及
具有接合在所述盖部的所述第1端面的第2端面与从所述第2端面凹进的凹部的基部,
所述盖部的所述第1端面及所述基部的所述第2端面的至少一方为粗糙面,在所述粗糙面上形成金属膜,
所述盖部与所述基部利用封装材料通过所述金属膜进行接合。
2.根据权利要求1所述的压电装置,其特征在于,
所述压电振动片由压电材料构成,
所述粗糙面形成得比所述压电材料的表面更粗糙。
3.根据权利要求1或2所述的压电装置,其特征在于,
所述基部的所述第2端面形成得比所述规定的宽度更宽,
所述压电振动片利用导电性粘接剂放置在所述基部的所述第2端面上,
所述金属膜仅形成在所述第1端面与所述第2端面的接合区域上。
4.根据权利要求3所述的压电装置,其特征在于,
在所述第2端面中仅所述接合区域为粗糙面。
5.根据权利要求3或4所述的压电装置,其特征在于,
在所述接合区域与所述导电性粘接剂之间以防止所述封装材料流入到所述压电振动片侧的方式形成有从所述第2端面凹进的槽部。
6.根据权利要求1所述的压电装置,其特征在于,
所述盖部的所述第1端面与所述基部的所述第2端面以相同的宽度 形成,
所述压电振动片利用导电性粘接剂放置在所述凹部内。
7.根据权利要求1至6的任意一项所述的压电装置,其特征在于,
在所述基部上形成贯通所述基部的一对通孔。
8.一种压电装置,其特征在于,具备:
包含利用电压的施加进行振动的压电振动片和以包围该压电振动片的方式形成并具有一主面与另一主面的外框的压电框架;
具有接合在所述压电框架的所述外框的所述一主面上的第1端面的盖部;以及
具有接合在所述压电框架的所述外框的所述另一主面上的第2端面的基部,
所述外框的一主面与所述盖部的所述第1端面的至少一方,以及所述外框的另一主面与所述基部的第2端面的至少一方为粗糙面,在所述粗糙面上形成金属膜,
所述盖部与所述外框,以及所述外框与所述基部利用封装材料通过所述金属膜进行接合。
9.根据权利要求8所述的压电装置,其特征在于,
在所述压电框架的所述外框的外周的缘部形成一对第1侧槽,在接合所述压电框架与所述基部之前,在所述基部的外周的缘部形成与所述第1侧槽对应的一对第2侧槽,
所述压电框架具有:形成在所述压电振动片的所述一主面及所述另一主面上的一对励振电极;从所述一主面侧引出至所述第1侧槽的所述一主面的第1引出电极以及从所述另一主面侧引出至所述第1侧槽上的所述另一主面的第2引出电极;以及电连接在所述第1引出电极上并形成于所述第1侧槽上的第1侧面电极,
所述基部具有分别电连接在所述第1侧面电极或所述第2引出电极上并形成在所述一对第2侧槽上的一对第2侧面电极,
在所述第1及第2侧槽上以电连接所述第1侧面电极或所述第1引出电极与所述第2侧面电极的方式形成一对连接电极。
10.根据权利要求1至9的任意一项所述的压电装置,其特征在于,
所述封装材料包含在350℃~410℃熔融的玻璃或聚亚胺树脂。
11.根据权利要求1至10的任意一项所述的压电装置,其特征在于,
所述盖部及所述基部由玻璃或压电材料构成。
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