[发明专利]射频功率分配装置

权利要求书

1.一种射频功率分配装置，其特征在于，包含：

一功率输入单元，具有一第一输入端及一第一输出端；

一第一功率分配单元，具有一第二输入端及二第二输出端，该第二输入端电性连接于第一输出端，该第二输入端至该第二输出端的长度为操作频率的四分之一波长，该第一功率分配单元是用以均分自该第一输出端所输出的射频功率；以及

多个第二功率分配单元，每一第二功率分配单元具有一第三输入端及二第三输出端，该第三输入端电性连接于该第二输出端，该第三输入端至该第三输出端的长度为操作频率的四分之一波长，该第二功率分配单元用以均分自该第二输出端所输出的射频功率。

2.根据权利要求1所述的射频功率分配装置，其特征在于，该功率输入单元、该第一功率分配单元及该些第二功率分配单元为同轴传输线，且其射频阻抗介于1到300奥姆之间。

3.根据权利要求2所述的射频功率分配装置，其特征在于，该功率输入单元、该第一功率分配单元及该些第二功率分配单元的阻抗值相等。

4.根据权利要求2所述的射频功率分配装置，其特征在于，该同轴传输线的形式为一接地金属外罩包覆一导体线，且该接地金属外罩与该导体线间以绝缘物质隔绝。

5.根据权利要求4所述的射频功率分配装置，其特征在于，该接地金属外罩及该导体线的材质为选自：镍、金、银、钛、铜、钯、不锈钢、铍铜合金、铝、被覆铝，及其组合所构成的群组。

6.根据权利要求1所述的射频功率分配装置，其特征在于，该射频功率分配装置可使用射频功率范围为0到100千瓦。

7.根据权利要求1所述的射频功率分配装置，其特征在于，该射频功率分配装置可使用射频功率的频率范围为1到300MHz。

8.根据权利要求1所述的射频功率分配装置，其特征在于，还包含多个负载单元，配置于该第二功率分配单元的该第三输出端，用以承接射频功率。

9.根据权利要求8所述的射频功率分配装置，其特征在于，该些负载单元所接收的射频功率总量与输入该功率输入单元的功率相等。

10.根据权利要求8所述的射频功率分配装置，其特征在于，每一该负载单元为一电极片。

11.根据权利要求10所述的射频功率分配装置，其特征在于，该电极片作为电浆装置中的阴极。