[发明专利]旋转接头以及溅射装置

说明书

技术领域

本发明涉及旋转接头以及具备它的溅射装置。

背景技术

以往，在溅射装置等的等离子处理装置中，为使流体从固定部侧向旋转部侧流动，使用旋转接头。例如，在日本特开2003-147519号公报中，公开了包括具有能够搭载多个靶材的阴极面的支撑体的溅射装置。为了同时冷却该溅射装置的阴极，例如使用日本特开2006-177453号公报那样的旋转接头。在日本特开2006-177453号公报中，公开了由对多个流路进行切换的圆柱状的轴体和圆筒状的筐体构成，若圆柱状的轴体旋转，则由圆筒状的筐体供给的流体的流路的朝向被改变的旋转接头。

但是，随着对溅射装置的小型化的要求的提高，以往的旋转接头不能对应。因此，发明人认真研究的结果是，发现在谋求旋转接头的小型化的同时，为了有效地冷却靶材，由大流量的冷却水集中地冷却正在使用的靶材，对未使用的靶材用较少量的冷却水冷却的方法。

发明内容

因此，本发明是为解决上述课题而做出的发明，其目的在于，提供一种在谋求装置尺寸的紧凑化的同时，能够有效地进行冷却的旋转接头以及具备旋转接头的溅射装置。

为了解决上述的课题，有关本发明的一个侧面的旋转接头的特征在于，具备：

具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、

插通于上述筐体的插通孔，能够相对于旋转轴相对于上述筐体相对旋转的轴体单元、

沿上述旋转轴方向形成在上述轴体单元内，用于与上述导入口连通的第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路、

设置在上述第一轴体单元导入路和第二轴体单元导入路之间，用于切换该流体的流量的切换部件；

上述切换部件

具有第一孔和比上述第一孔的直径小，且比上述第一轴体单元导入路以及上述第二轴体单元导入路的直径小的第二孔，

能够对上述切换部件的第一孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的一方一致，将上游侧和下游侧连通，且

能够对上述切换部件的第二孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的另一方一致，将上游侧和下游侧连通。

有关本发明的另一侧面的溅射装置的特征在于，具备：

旋转接头、

用于支撑多个靶材的可旋转的支撑体、

为对上述靶材进行溅射处理而设置在上述支撑体上，具备用于使来自上述第一轴体单元导入路的流体流动的第一配管的第一阴极、

为对上述靶材进行溅射处理而设置在上述支撑体上，具备用于使来自上述第二轴体单元导入路的流体流动的第二配管的第二阴极；

所述旋转接头具备：

具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、

插通于上述筐体的插通孔，能够相对于旋转轴相对于上述筐体相对旋转的轴体单元、

沿上述旋转轴方向形成在上述轴体单元内，用于与上述导入口连通的第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路、

设置在上述第一轴体单元导入路和第二轴体单元导入路之间，用于切换该流体的流量的切换部件；

上述切换部件具有第一孔和比上述第一孔的直径小，且比上述第一轴体单元导入路以及上述第二轴体单元导入路的直径小的第二孔，

能够对上述切换部件的第一孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的一方一致，将上游侧和下游侧连通，且

能够对上述切换部件的第二孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的另一方一致，将上游侧和下游侧连通。

根据本发明，通过在旋转接头内具备用于切换流体的切换部件，能够提供一种在谋求装置尺寸的小型化的同时，能有效地进行冷却的旋转接头以及具备了旋转接头的溅射装置。

附图说明

图1是用于说明有关本发明的溅射装置的整体结构的概略俯视图。

图2是从基板侧看图1所示的三个支撑体的概略俯视图。

图3是有关本发明的第一实施方式的旋转接头结构和流体量的切换部件的分解立体图。

图4是图3的旋转接头的概略剖视图。

图5是说明有关本发明的实施方式的控制系统的结构的图。

图6是从图4使流体量的切换部件旋转，改变了流量时的旋转接头的概略剖视图。

图7是说明流体量的切换部件的平面形状的俯视图。

图8是说明对处于图1的溅射装置的溅射室的靶材70a进行成膜时，阴极和流体量的切换部件的位置关系的剖视图。