[发明专利]旋转接头以及溅射装置

权利要求书

1.一种旋转接头，其特征在于，具备：

具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、

插通于上述筐体的插通孔，能够相对于旋转轴相对于上述筐体相对旋转的轴体单元、

沿上述旋转轴方向形成在上述轴体单元内，用于与上述导入口连通的第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路、

设置在上述第一轴体单元导入路和第二轴体单元导入路之间，用于切换该流体的流量的切换部件；

上述切换部件

具有第一孔和比上述第一孔的直径小，且比上述第一轴体单元导入路以及上述第二轴体单元导入路的直径小的第二孔，

能够对上述切换部件的第一孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的一方一致，将上游侧和下游侧连通，且

能够对上述切换部件的第二孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的另一方一致，将上游侧和下游侧连通。

2.如权利要求1所述的旋转接头，其特征在于，具有形成在上述轴体单元的外侧，用于与上述筐体的上述导入口连通的第一环状流路；

上述第一轴体单元导入路和上述第二轴体单元导入路与上述第一环状流路连通。

3.如权利要求2所述的旋转接头，其特征在于，上述筐体具有将从上述导入口导入的上述流体向外部导出的导出口；

上述旋转接头还具备

形成在上述轴体单元的外侧，用于与上述筐体的上述导出口连通的第二环状流路、

在上述轴体单元内被形成在上述旋转轴方向，通过上述第一轴体单元导入路和第一配管连通，且与上述第二环状流路连通的第三轴体单元导出路、

在上述轴体单元内被形成在上述旋转轴方向，通过上述第二轴体单元导入路和第二配管连通，且与上述第二环状流路连通的第四轴体单元导出路；

上述切换部件被设置在上述第一轴体单元导入路和上述第二轴体单元导入路之间，且上述第三轴体单元导出路和第四轴体单元导出路之间；

上述切换部件

具有一对第一孔和比上述第一孔的直径小，且比上述第一轴体单元导入路以及上述第二轴体单元导入路的直径小的一对第二孔，

上述切换部件能够对一对第一孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路以及上述第三轴体单元导出路、或上述第二轴体单元导入路以及上述第四轴体单元导出路的任意一方一致，将上游侧和下游侧连通，且能够对上述切换部件的一对第二孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路以及上述第三轴体单元导出路、或上述第二轴体单元导入路以及上述第四轴体单元导出路的任意另一方一致，将上游侧和下游侧连通。

4.一种溅射装置，其特征在于，具备：

旋转接头、

用于支撑多个靶材的可旋转的支撑体、

为对上述靶材进行溅射处理而设置在上述支撑体上，具备用于使来自第一轴体单元导入路的流体流动的第一配管的第一阴极、

为对上述靶材进行溅射处理而设置在上述支撑体上，具备用于使来自第二轴体单元导入路的流体流动的第二配管的第二阴极；

所述旋转接头具备：

具有插通孔，且具有用于从外部导入流体的导入口的筐体、

插通于上述筐体的插通孔，能够相对于旋转轴相对于上述筐体相对旋转的轴体单元、

沿上述旋转轴方向形成在上述轴体单元内，用于与上述导入口连通的第一轴体单元导入路以及第二轴体单元导入路、

设置在上述第一轴体单元导入路和第二轴体单元导入路之间，用于切换该流体的流量的切换部件；

上述切换部件具有第一孔和比上述第一孔的直径小，且比上述第一轴体单元导入路以及上述第二轴体单元导入路的直径小的第二孔，

能够对上述切换部件的第一孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的一方一致，将上游侧和下游侧连通，且

能够对上述切换部件的第二孔进行切换，以便与上述第一轴体单元导入路或第二轴体单元导入路的另一方一致，将上游侧和下游侧连通。

5.如权利要求4所述的溅射装置，其特征在于，还具备控制部，所述控制部对上述旋转接头进行控制，以便相对于实施溅射处理的上述第一阴极的第一配管，使上述第一孔一致，且

相对于未实施溅射处理的上述第二阴极的第二配管，使上述第二孔一致。