[发明专利]分光测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及测量入射光的分光特性的分光测量装置。

背景技术

在现有技术中，测量入射光的各波长光的光特性(色度与亮度等)的分析装置是已知的(例如，参考专利文献1)。

专利文献1记载的分析装置是这样的装置：使从光源发射、经样品反射的光入射到波长可变干涉滤波器，用光电二极管来接收透过波长可变干涉滤波器的光，然后，通过检测光电二极管输出的电流来进行测量。在这种分析装置中，可以通过控制波长可变干涉滤波器改变透过波长可变干涉滤波器的光，从入射光依次转换为所希望波长的光，并由光电二极管接收。

专利文献1：特开2005-106753号公报

然而，如果使用在可见光波长区域内没有峰值波长的钨灯等的白色光为光源时，短波长区的光量会下降，因此，在波长可变干涉滤波器的可分光的波长区内，短波长区的光的光量可能会下降。因此，由光电二极管接收的光的光量降低，短波长区的分光特性的测量精度变差。由此，产生了不能正确测量入射光的分光特性的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种可高精度地测量分光特性的分光测量装置。

本发明的分光测量装置是一种将可见光波长区域的光进行分光的分光测量装置，包括：第一光源，发射在上述可见光波长区域没有峰值波长、并且随着波长由短波向长波的增大光量增大的光；第二光源，发射在上述可见光波长区域中具有峰值波长的光；光混合器，将从上述第一光源和上述第二光源发射的光混合；波长可变干涉滤波器，让所述光混合器混合的光入射进来，并使上述混合的光的入射光中的特定波长的光透过；光接收部，接收透过上述波长可变干涉滤波器的光；测量控制部，转换可透过上述波长可变干涉滤波器的光波长，并基于上述光接收部接收到的光来测量透过上述波长可变干涉滤波器的光的分光特性。

根据本发明，分光测量装置包括：发射在可见光波长区域无峰值波长、随着波长由短波向长波的增大光量增大的光的第一光源；发射在可见光波长区域具有峰值波长的光的第二光源；以及混合各光源发射的光的光混合器。而且，光混合器混合各光源发射的光，光接收部接收透过波长可变干涉滤波器的检测对象光，测量控制部测量检测对象光的分光特性。这里，如上文所述，当只使用在可见光波长区域中无峰值波长的第一光源时，在可见光波长区域的特定波长区域内光量明显降低。然而，根据本发明，例如第二光源如果发射在短波长区(第一光源的光量少的波长区域)具有峰值波长的光，则可有效地补偿第一光源的光量明显降低的短波长区的光量。因此，可提高光量降低的波长区域的分光特性的测量精度，进而能够进行高精度的分光特性测量。

在本发明的分光测量装置中，优选上述第二光源在385nm以上450nm以下的范围内具有峰值波长。

若将波长可变干涉滤波器的波长可变区域设定为380nm～780nm，并且使用钨灯等短波长区的光量小的第一光源时，尤其在短波长区，第一光源的光量会降低。因此，进行高精度的分光特性的测量需要补偿短波长区的光量。根据本发明，使用了在385nm以上450nm以下范围内具有峰值波长的第二光源，因此，能够用第二光源补偿短波长区的光量。因此，即便在短波长区也能得到足够的光量，从而可以进行高精度的分光特性测量。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式的分光测量装置的结构简图。

图2是示出上述第一实施方式的光源部光谱分布的曲线图。

图3是示出上述第一实施方式的标准具大致结构的截面图。

图4是示出上述第一实施方式的标准具的波长校正处理的流程图。

图5是示出在上述第一实施方式的光接收部生成的电信号的电流值与驱动电压之间关系的曲线图。

图6是用于说明上述第一实施方式的标准具的波长校正的图。

图7是示出本发明的第二实施方式的分光测量装置的结构简图。

图8是示出上述第二实施方式的光源部的光谱分布的曲线图。

图9是用于说明上述第二实施方式的标准具的波长校正的图。

图10是示出涉及本发明变形例的光源部的光谱分布的曲线图。

具体实施方式

第一实施方式

下面，根据附图说明本发明的第一实施方式。

1.分光测量装置的简要结构

图1是示出第一实施方式的分光测量装置1的简要结构的图。