[发明专利]铜面粗化微蚀刻剂有效
申请号: | 201110257972.5 | 申请日: | 2011-09-02 |
公开(公告)号: | CN102286745A | 公开(公告)日: | 2011-12-21 |
发明(设计)人: | 章晓冬;刘江波 | 申请(专利权)人: | 广州市天承化工有限公司 |
主分类号: | C23F1/18 | 分类号: | C23F1/18 |
代理公司: | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人: | 张玲春 |
地址: | 510990 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铜面粗化微 蚀刻 | ||
1.一种铜面粗化微蚀刻剂,其特征在于,该微蚀刻剂包含如下质量百分含量的各组分:
氯化铜 5-15%
氯化钠 2-10%
有机酸及其盐 3-20%
缓蚀剂 0.001-0.2%
水 余量。
2.根据权利要求1所述的铜面粗化微蚀刻剂,其特征在于:所述有机酸包含甲酸、苹果酸及衣康酸中的一种或二者以上的混合物。
3.根据权利要求1所述的铜面粗化微蚀刻剂,其特征在于:所述有机酸的盐类物质包含有:甲酸钠。
4.根据权利要求1所述的铜面粗化微蚀刻剂,其特征在于:所述缓蚀剂为硫脲或乌洛托品。
5.根据权利要求1所述的铜面粗化微蚀刻剂,其特征在于:所述微蚀刻剂包含如下质量百分含量的各组分:
氯化铜 8%
氯化钠 5%
甲酸 6%
甲酸钠 8%
硫脲 0.01%
去离子水 余量。
6.根据权利要求1所述的铜面粗化微蚀刻剂,其特征在于:所述微蚀刻剂包含如下质量百分含量的各组分:
氯化铜 7%
氯化钠 6%
衣康酸 5%
甲酸钠 5%
乌洛托品 0.02%
去离子水 余量。
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