[发明专利]用于LED晶粒点测设备的点测装置

说明书

技术领域

本发明系关于一种用于LED晶粒点测设备的点测装置，尤其是一种应用以能量转换器控制该点测装置的起落行程于待测LED晶粒上。

背景技术

近年来，随着科技的进步，LED晶圆的制程亦不断精进，同时为了有效提升晶圆产品的品管良率，业者往往会于后段制程中，以点测装置将电流准确地传送至晶圆上的LED晶粒，并藉由侦测该晶圆上的LED晶粒所发出光线的特性，以判断出晶圆上每一晶粒的优劣。

目前传统的点测装置如图1所示，该传统式点测装置1系由一边缘检测(edge sensor)开关11、一摆臂12及一探针13所组成，因此当底部的驱动机构2经由调整使该具有LED晶圆4的承载装置3向上移动时，能使该LED晶圆4靠近该点测装置1，该LED晶圆4的顶面会抵压该点测装置1的探针13，使该探针13能与该LED晶圆4的LED晶粒41接触，同时，该边缘检测(edge sensor)开关11能将所接收的外部电流，通过该探针13传送至该LED晶圆4上的LED晶粒41，使得LED晶粒41接收到电流而发光，如此，业者即能藉由侦测该LED晶圆4上的LED晶粒41所发出光线的特性，以判断该LED晶圆4上每一晶粒的优劣。

但上述传统的点测装置，其中的一项缺失在于当该点测装置1进行点测时，在探针13接触到LED晶粒41后即成为接通状态，此时必须在边缘检测(edge sensor)开关11处的接合动作下送一测试电流至探针13，藉此让待测LED晶粒41由两支点测测装置导通点亮；不过，传统的边缘检测(edge sensor)开关11为机械式动作，在点测过程累积反复开启/关闭动作之下，很容易造成接触不佳，使测试电流无法有效准确地传送至该LED晶圆4上的LED晶粒41，导致点测后的数据资料可信度遭存疑。

因此，若能够维持点测装置的可靠度，改善以往导通后送测试讯号的机械式接触的测试讯号失真问题，并且控制改善该探针接触该LED晶圆的速度输出及力量输出，应为一最佳解决方案。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于LED晶粒点测设备的点测装置，其结构简单，操作方便。

为实现上述目的，本发明公开了一种用于LED晶粒点测设备的点测装置，用以接触检测LED晶圆上的多个LED晶粒，该点测装置至少具有两支测试探针组，其特征在于各测试探针组包括：

一探针，用以与该LED晶圆上该些LED晶粒接触；

一能量转换器，与该探针一端相连接，用以将所接收电能转换为机械动能，以控制该探针于该LED晶圆上的起落行程，使该探针以受控制的起落速度接触该些LED晶粒；以及

一驱动单元，与该能量转换器电性相接，用以提供该能量转换器的输入电能讯号。

其中，该LED晶粒点测设备更具有一承载装置及一驱动机构，该承载装置用以置放至少一片LED晶圆，而该驱动机构能够驱动该承载装置进行移动。

其中，该承载装置能够藉由该驱动机构作X、Y轴向位移。

其中，该承载装置能够藉由该驱动机构作X、Y、Z轴向位移。

其中，该能量转换器为音圈马达。

其中，该LED晶粒点测设备更具有一与该驱动器相连接控制单元，该控制单元能够传送讯号进入该驱动器中，并透过该驱动单元进行控制该能量转换器的速度输出及力量输出。

通过本发明，能实现以下技术效果：

1.本发明系能够藉由能量转换器来对探针下压接触LED晶圆所输出的力量、位置、加速度以及速度进行控制，并在操作中随时进行力量位置以及速度的转换，以使该探针能以受控制的起落速度接触LED晶圆上的LED晶粒。

2.本发明能使探针缓慢并精准的接触LED晶圆上的LED晶粒，以便提高侦测灵敏度及定位准确性。

附图说明

图1：为习知传统式点测装置的架构图；

图2：为本发明用于LED晶粒点测设备的点测装置的架构图；

图3：为本发明用于LED晶粒点测设备的点测装置的能量转换器的动作曲线图；

图4A：为本发明用于LED晶粒点测设备的点测装置的起实施例图；以及

图4B：为本发明用于LED晶粒点测设备的点测装置的实施例图。

具体实施方式

有关于本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。