[发明专利]一种硅片打磨装置无效
| 申请号： | 201110252906.9 | 申请日： | 2011-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN102950523A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 高贝贝;孙林杰 | 申请（专利权）人： | 浚鑫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/22 | 分类号： | B24B19/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 214443 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 打磨 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片打磨装置，其特征在于，包括：微型电动机、打磨头、电池；
所述微型电动机的本体轴伸顶端与其机身相连，末端设置有打磨硅片的所述打磨头；所述电池与所述微型电动机相连。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微型电动机的型号为RC260。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括：传动轴伸、联轴器；
所述微型电动机的本体轴伸末端通过所述联轴器与所述传动轴伸顶端相连；所述传动轴伸末端设置有打磨硅片的所述打磨头。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括：手柄；
所述微型电动机机身、所述本体轴伸和所述电池装载到所述手柄内部。
5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括：手柄；
所述微型电动机机身、所述本体轴伸、所述联轴器和所述电池装载到所述手柄内部。
6.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，还包括：手柄；
所述微型电动机机身和所述电池装载到所述手柄内部。
7.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述打磨头与硅片相适配。
8.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述打磨头由磨石构成。
9.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述打磨头由砂纸构成。
10.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，与打磨头相连的轴伸末端截面直径为5mm～10mm。
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