[发明专利]精研工件

说明书

技术领域

本发明涉及对工件进行精研。

发明内容

在一些实施例中，提供一种研磨工具，该工具的精研表面具有理想的表面纹理。研磨工具具有台板，台板限定外表面和贯穿外表面的凹槽。在凹槽中置有粘合剂。在凹槽中磨料通过粘合剂在其近端处粘附到台板，使得磨料在其远端处延伸超出外表面，从而限定精研表面。

在一些实施例中，提供一种用于制造研磨工具的方法，该工具的精研表面的具有理想的表面纹理。该方法包括以下步骤：获得台板，该台板限定外表面以及贯穿外表面的凹槽；在凹槽中向台板涂敷粘合剂；通过粘合剂在磨料的近端处将磨料粘附到台板上，使得磨料的远端延伸超出外表面，从而限定精研表面。

在一些实施例中，提供一种用于精研工件的研磨工具。研磨工具具有：台板，台板可选择性地相对于工件移动；以及用于从台板支承磨料的装置，从而为工具的精研表面限定理想的表面纹理。

附图说明

图1是依据本发明实施例的构造的研磨工具的立体图。

图2是按照相关技术解决方案构造的另一研磨工具中的精研板的横截面图。

图3是按照本发明实施例构造的图1的研磨工具中的精研板的横截面图。

图4是图3的精研板的一部分的局部放大分解横截面图。

图5是图1的研磨工具的一部分的放大横截面图。

图6是按照本发明实施例，用于构造精研板的方法的步骤流程图。

具体实施方式

本实施例大体涉及研磨工具的制造。虽然不如此限制，但是为了说明，参考研磨工具在数据储存装置的磁换能头(称为“磁头”)的高精度研磨中的使用。磁头，可操作地用于储存和取回可旋转的磁记录盘中的数据，其需要极其精密的制造公差。磁头一般通过应用导电材料涂层和沿较大支承元件一侧的称之为滑块的磁通传导芯构成。空气轴承表面(“ABS”)被精密加工到滑块中，其将滑块空气动力学地支承在通过旋转记录盘产生的空气膜上。这在滑块和记录盘之间保持着期望的空间分离，以适于磁头与记录盘之间可靠的数据传送操作。虽然一般称之为“空气”轴承表面，但本领域技术人员理解在一些实例中，该术语甚至当滑块类似于空气动力学地被支承在不同于空气的流体(同样由旋转盘产生)上时也通用，该流体例如为惰性气体环境，但不限制于此。

图1图示按照本发明的实施例的用来加工ABS的研磨工具100。该研磨工具100具有一个旋转精研板102，其限定嵌入磨料(如下所示)的精研表面104。当精研表面104相对于滑杆106旋转时，可向精研表面104提供研磨液，以增强其研磨动作，滑杆106包括以抵抗精研表面104的压力啮合来支持的多个滑块。

从滑块上去掉材料的研磨动作，也造成精研表面纹理的恒定快速的削减，久而久之使其不太有效，并最终导致失效。在横穿滑杆106的初始精研期间尤其如此，这部分研磨工序被称为“粗研磨”，此时滑杆106的部件间的尺寸变化是最大的。

图2是研磨工具107的一部分的横截面图，研磨工具107是按照先前相关技术的解决方案构造的。多个磨料108嵌入在粘合剂材料110中，粘合剂材料110粘附到台板112上。在那样的构造中，磨料108特别容易在粗研磨过程中移动，因为在间歇性和/或深入切入滑块过程中，施加到磨料108上的研磨力超过能够从台板112上剥离粘合剂材料110的垂直力。

图3是按照本发明的实施例构造的研磨工具114的一部分的横截面图。研磨工具114具有台板116，该台板优选由非压缩材料构成，例如但不局限于由金属材料制成。台板116限定外表面118，金属制材料构造尤其对于在台板116中形成多个贯穿外表面118的凹槽120是有利的。粘合剂122置于每个凹槽120中。磨料124在其近端处通过粘合剂122在每个凹槽120中被粘附到台板116上，使得每个磨料124的远端延伸超出外表面118，从而限定精研表面。

图4是图3的研磨工具114的一部分的局部放大分解横截面图。为了减少粘合剂122的使用，凹槽120由不平行的对置面来限定——在本说明性例子中，凹槽120的形状是“V”形。图4中邻接的V形凹槽120形成“W”形组合，其中两个邻接V形凹槽120之间的外表面1182处的峰点与其它平坦部分的外表面1181，1183共面。如图3所示，其它成对的邻接V形凹槽120被外表面1181和1183的平坦部分分隔开。