[发明专利]精研工件

权利要求书

1.一种研磨工具，所述工具的精研表面具有理想的表面纹理，所述研磨工具包括：

台板，所述台板限定外表面和贯穿外表面的凹槽；

所述凹槽中的粘合剂；以及

磨料，所述磨料在所述凹槽中在其近端处通过粘合剂粘附到台板上，并且在其远端处延伸超出所述外表面，从而限定所述精研表面。

2.如权利要求1所述的研磨工具，其特征在于，所述外表面是平坦的。

3.如权利要求2所述的研磨工具，其特征在于，限定所述凹槽的相对的表面是不平行的。

4.如权利要求3所述的研磨工具，其特征在于，所述凹槽是V形的。

5.如权利要求4所述的研磨工具，其特征在于，所述台板限定多个V形凹槽，邻接的所述多个V形凹槽限定W形的一对V形凹槽，其中一对V形凹槽之间的峰点与所述平坦外表面共面。

6.如权利要求4所述的研磨工具，其特征在于，所述台板限定多个V形凹槽，邻接的所述多个V形凹槽被所述平坦外表面分隔开。

7.如权利要求1所述的研磨工具，其特征在于，所述台板包括非压缩结构材料。

8.如权利要求7所述的研磨工具，其特征在于，所述台板包括金属结构材料。

9.如权利要求1所述的研磨工具，其特征在于，所述粘合剂包括多元环氧树脂，其中所述多元环氧树脂的第一部分可操作地涂敷到所述台板的凹槽内，且在所述多元环氧树脂的第一和第二部分连接在一起以将所述磨料粘附到所述台板之前，所述多元环氧树脂的第二部分可操作地涂敷到所述磨料上。

10.如权利要求9所述的研磨工具，其特征在于，在所述多元环氧树脂的第一和第二部分连接在一起以将所述磨料粘附到所述台板之前，所述多元环氧树脂的第二部分可操作地涂敷到多个磨料上。

11.如权利要求10所述的研磨工具，其特征在于，所述磨粒包括金刚石粉末。

12.一种用于制造研磨工具的方法，所述工具的精研表面具有理想的表面纹理，所述方法包括：

获得台板，所述台板限定外表面以及贯穿所述外表面的凹槽；

在所述凹槽中向台板涂敷粘合剂；

通过所述粘合剂在磨料的近端处将磨料粘附到所述台板，使得所述磨料的远端延伸超出所述外表面，从而限定所述精研表面。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述涂敷步骤的特征在于用所述粘合剂部分地填充所述凹槽。

14.如权利要求12所述的方法，其中所述获得步骤的特征在于所述外表面是平坦的。

15.如权利要求12所述的方法，其中所述获得步骤的特征在于所述台板由非压缩材料构成。

16.如权利要求15所述的方法，其中所述获得步骤的特征在于所述台板由金属制材料构成。

17.如权利要求12所述的方法，其中所述涂敷步骤的特征在于在所述凹槽中将多元环氧树脂的第一部分涂敷于所述台板上。

18.如权利要求17所述的方法，其中所述粘附步骤的特征在于在将所述多元环氧树脂的第一和第二部分连接在一起之前，将所述多元环氧树脂的第二部分涂敷于所述磨料上。

19.如权利要求18所述的方法，其中所述粘附步骤的特征在于在将所述多元环氧树脂的第一和第二部分连接在一起之前，将所述多元环氧树脂的第二部分涂敷于多个磨料上。

20.如权利要求19所述的方法，其中所述粘附步骤的特征在于所述磨料是金刚石粉末。

21.一种用于精研工件的研磨工具，所述研磨工具包括：

可相对于所述工件选择性移动的台板；以及

用于在所述台板上支承所述磨料的装置，从而限定所述工具的精研表面的理想的表面纹理。