[发明专利]滤光器、滤光器的制造方法以及光设备

说明书

技术领域

本发明涉及滤光器、滤光器的制造方法以及光设备等。

背景技术

在专利文献1中披露了由具有隔着规定间隙地相对的一对光学膜的法布里-珀罗标准具滤波器(以下有时称为标准具滤波器或仅称为标准具)构成的滤光器。

专利文献1所述的标准具滤波器具有保持相互平行的第一基板和第二基板、形成在第一基板上的第一光学膜(第一反射膜)以及以规定间隙与第一光学膜相对的形成在第一基板上的第二光学膜(第二反射膜)。第一光学膜和第二光学膜各自形成反射镜，通过使光在反射镜之间多重干涉，从而可以根据间隙的长度(间隙量)仅使规定的波长范围的光透过。并且，通过可变地控制间隙量，可以变换透过的光的波长范围。

并且，在专利文献1记载的标准具滤波器中，第一基板和第二基板的接合使用了含有硅氧烷(Si-O)键的接合膜。标准具滤波器的波长分离精度与间隙量的精度有很大关系。因此，为了提高标准具滤波器的性能，需要高精度地控制第一光学膜和第二光学膜之间的间隙长度。

为了在促进标准具滤波器的小型化的同时实现波长分解能力的提高，例如需要通过纳米级高精度地控制第一光学膜和第二光学膜之间间隙的技术。因此，在通过含有硅氧烷键的接合膜接合第一基板和第二基板时，不使各基板倾斜、确保各基板间的平行度是非常重要的。

但是，为了利用接合膜接合各基板，需要例如通过照射紫外线或氧等离子体处理等使形成在各基板上的接合膜活化，进行各基板的位置匹配(对准)，然后进行向各基板施加负荷的处理，在这些工序中，有时基板可能发生一些倾斜。

使基板倾斜的原因可能是例如在各基板上局部形成接合膜时的对准偏离(接合膜对准偏离)或在接合各基板的工序中的基板对准偏离。并且，接合膜的边缘部容易倾斜或形成圆度等，这也可能成为基板倾斜的原因。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-134028号公报

发明内容

根据本发明的至少一个方式，例如在通过基板的粘合形成的滤光器上，可以抑制基板的倾斜，确保设置在各基板上的光学膜之间的平行度。

(1)本发明的滤光器的一个方式是包括：具有支撑部的第一基板；被所述支撑部支撑的第二基板；设置在所述第一基板上的第一光学膜；设置在所述第二基板上、与所述第一光学膜相对的第二光学膜；设置在所述支撑部支撑所述第二基板的支撑面的整个区域上的第一接合膜；以及设置在所述第二基板的被支撑面之中至少与所述支撑面的整个区域相对的区域上的第二接合膜，所述第一基板和所述第二基板通过所述第一接合膜和所述第二接合膜在所述支撑部接合而固定。

在本方式中，第二基板被第一基板所具有的支撑部支撑。支撑部可以通过加工第一基板本身形成。

并且，在支撑部上的支撑面的整个区域(整个面)上设置了第一接合膜。即，用第一接合膜覆盖支撑部的支撑面的整个区域(整个面)，支撑部22的支撑面上的第一接合膜的表面(第二基板侧的面)形成为没有层差的平坦的面即平坦面。并且，在第二基板的被支撑面中的至少与支撑面的整个区域相对的区域(相对面)上设置了第二接合膜。

在此，第二基板的被支撑面例如在设计上是预定被支撑部支撑的面，实际上可以说成是包括被支撑部支撑的面在内的平坦的面。被支撑面例如除了实际上被支撑部支撑的区域以外，还可以包括设置在其附近的位置偏移余量区域。

在被支撑面中的至少与支撑面的整个区域相对的区域上设置了第二接合膜。即，在第二基板的被支撑面中的从第二基板的厚度方向看的俯视图中与支撑部的支撑面的整个区域(整个面)重合的区域被第二接合膜覆盖，第二接合膜的表面(第一基板侧的面)形成为无层差的平坦的面即平坦面。

即，在本方式中，在设置在整个支撑面上的第一接合膜的平坦的面与与该第一接合膜的平坦的面相对的第二接合膜的平坦的面相接触的状态下，使第一接合膜与第二接合膜接合，从而实现第一基板和第二基板的固定、即第一基板和第二基板的粘合。在本方式中，由于利用整个支撑面支撑第二基板的同时，通过各接合膜的平坦的面之间的接触在支撑面上稳定地支撑第二基板，所以抑制了第二基板相对第一基板倾斜。

设置在第一基板上的第一光学膜与设置在第二基板上的第二光学膜之间的间隙需要用纳米级高精度地设定。为了实现这样高精度的间隙控制，重要的是高精度地确保各光学膜彼此相对的面(相对面)之间的平行度。根据本方式，保持水平的各基板能够依然保持其平行度地粘合，从而可以高精度地实现第一光学膜和第二光学膜之间的微小间隙。