[发明专利]测试装置及测试方法

权利要求书

1.一种测试装置，是对被测试器件进行测试的测试装置，包括：

感应负载部，其具有感应成分，设置于向所述被测试器件流过测试电流的路径上；

转换部，其转换是否将来自所述感应负载部的所述测试电流供给到所述被测试器件；

断路控制部，其根据所述被测试器件的状态转换所述转换部，并切断所述路径；

电压控制部，其将所述感应负载部与所述转换部之间的所述路径的电压控制到预定的钳位电压以下。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

所述转换部设置于所述感应负载部及所述被测试器件之间，或所述被测试器件及接地电位之间，转换是否将流过所述路径的电流切断。

3.根据权利要求1所述的测试装置，其中，

所述断路控制部基于流过所述被测试器件的电流的大小或所述被测试器件的预定端子间的电压而转换所述转换部。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其中，

所述断路控制部基于在预定的比较定时中的、流向所述被测试器件的电流或所述端子间的电压的大小与预定的基准值进行比较的比较结果，转换所述转换部。

5.根据权利要求4所述的测试装置，其中，

所述感应负载部包括：多个感应负载，和从所述多个感应负载选择1个以上感应负载的选择部。

6.根据权利要求5所述的测试装置，其中，

所述电压控制部根据所述感应负载部所选择的所述1个以上感应负载的合成电感值而控制所述钳位电压。

7.根据权利要求5所述的测试装置，其中，

所述断路控制部根据所述感应负载部所选择的所述1个以上感应负载的合成电感值，控制转换所述转换部的转换定时。

8.根据权利要求5所述的测试装置，其中，

所述断路控制部根据所述感应负载部所选择的所述1个以上感应负载的合成电感值而控制所述比较定时。

9.根据权利要求5所述的测试装置，其中，

所述断路控制部根据所述感应负载部所选择的所述1个以上感应负载的合成电感值而控制所述基准值。

10.根据权利要求4所述的测试装置，其中，

还包括脉冲信号供给部，其向所述被测试器件供给将所述被测试器件控制为所述测试电流流过的导通状态或不流过所述测试电流的非导通状态的任一状态的脉冲信号。

11.根据权利要求10所述的测试装置，其中，

所述断路控制部在自向所述被测试器件供给所述脉冲信号起经过了预定时间时，无论所述被测试器件的状态如何都将所述转换部转换为截止状态。

12.根据权利要求10所述的测试装置，其中，

所述电压控制部根据向所述被测试器件供给所述脉冲信号的时间长度而控制所述钳位电压。

13.根据权利要求10所述的测试装置，其中，所述电压控制部包括：

产生对应于所述钳位电压的基准电压的基准电压产生部；

阴极连接于所述基准电压产生部、阳极连接于所述感应负载部和所述转换部之间的二极管。

14.根据权利要求10所述的测试装置，其中，所述电压控制部包括：

产生对应于所述钳位电压的基准电压的基准电压产生部；

根据所述转换部的状态，转换所述基准电压产生部是否与所述感应负载部及所述转换部连接的开关。