[发明专利]镀膜件及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种镀膜件及其制备方法。

背景技术

过渡金属氮化物、碳化物和碳氮化物具有高硬度、高抗磨损性能和良好的化学稳定性等优异性能。因此，通常将过渡金属氮化物、碳化物和碳氮化物以薄膜的形式镀覆在刀具或模具表面，以此来提高刀具和模具的使用寿命。

然而，对于工作条件苛刻的刀具或模具，不仅要求镀覆在刀具或模具表面的膜层具有高抗磨损性能，还要求膜层具有较佳的耐腐蚀性及耐高温性能。因此，在刀具或者模具表面仅镀覆过渡金属氮化物、碳化物和碳氮化物层，无法满足要求。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种有效解决上述问题的镀膜件。

另外，还有必要提供一种上述镀膜件的制备方法。

一种镀膜件，其包括基材、形成于基材表面的若干钼层和若干钛铝氮层，该若干钼层和若干钛铝氮层交替排布，其中与所述基材直接相结合的是钼层，最外层为钛铝氮层。

一种镀膜件的制备方法，其包括如下步骤：

提供基材；

在该基材的表面形成钼层；

在该钼层的表面形成钛铝氮层；

交替重复上述形成钼层和钛铝氮层的步骤，且使镀膜件的最外层为钛铝氮层。

本发明镀膜件在基材表面交替溅镀钼层和钛铝氮层形成钼/钛铝氮纳米多层膜，该纳米多层膜中的组份呈周期性变化，产生较强的界面效应、层间耦合效应，因此具有与单层涂层不同的特性；膜层界面的增多抑制了钼/钛铝氮纳米多层膜之间位错的产生，从而使镀膜件获得了高强硬度；同时，钼/钛铝氮纳米多层膜结构能够使膜层的晶粒细化，膜层更加致密，从而提高钼/钛铝氮纳米多层膜的耐腐蚀性；此外，由于钼层具有良好的耐高温性能，使所述镀膜件具有良好的耐高温性能，从而有效提高镀膜件的使用寿命。

附图说明

图1为本发明一较佳实施例的镀膜件的剖视图；

图2为本发明一较佳实施例真空镀膜机的俯视示意图。

主要元件符号说明

镀膜件10基材11钼层13钛铝氮层15真空镀膜机20镀膜室21钼靶23钛铝合金靶24轨迹25真空泵30

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

请参阅图1，本发明一较佳实施方式的镀膜件10包括基材11、形成于基材11表面的若干钼层13和若干钛铝氮层15，该若干钼层13和若干钛铝氮层15交替排布，其中与所述基材11直接相结合的是钼层13，最外层为钛铝氮层15。所述若干钼层13加上若干钛铝氮层15的总厚度可为1.2～2.4μm。本实施例中，所述若干钼层13和若干钛铝氮层15的层数可分别为40～60层。

该基材11的材质可为金属、玻璃或陶瓷。