[发明专利]真空镀膜机转动机构

说明书

技术领域

本发明属于真空镀膜设备，特别涉及一种通过转换镀膜工件位置实现蒸发镀膜的加工设备。

背景技术

真空镀膜是指需要在较高真空度下进行镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

对于蒸发镀膜，一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片(或称工件)表面，通过成膜过程形成薄膜。厚度均匀性和组分均匀性主要取决于：工件材料与靶材的晶格匹配程度；工件表面温度；靶材蒸发功率和速率；镀膜真空度；镀膜时间和厚度大小。当调整了工件镀膜温度和真空度，以及靶材蒸发条件后，就需要按照工件特定要求，需要通过合理设置的传机构来连续转换镀膜工件位置，才能确保工件镀膜质量，尤其对于如汽车轮毂之类的大型工件显得特别重要。

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供一种真空镀膜机转动机构，通过连续调整镀膜工件位置达到工件镀膜均匀度，提高了效率。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空镀膜机转动机构，包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达，该旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座和安装于该底座的穹顶罩组成，其中：

1)该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环，该上托架中部固定于该穹顶罩顶部转动轴上，该上托架环周与该下环之间通过多个并行的直立杆连接固定，对应该下环的内边缘，该底座设有多个便于该下环转动的滚轮；

2)该马达驱动紧配于该下环内边缘的驱动滚轮连带该下环转动。

作为本发明的进一步改进，该上托架由上内环、上外环和多个辐条组成，该上内环固定于该穹顶罩顶部转动轴上，该多个辐条两端分别连接该上内环和上外环，并呈辐射状分布，该上外环与该下环之间通过多个并行的该直立杆连接固定。

作为本发明的进一步改进，该驱动滚轮固定于一个连接轴的上端，该连接轴中部固定于该底座而下端伸出于该底座，并通过安装于该真空腔室外部的该马达驱动转动。

作为本发明的进一步改进，该驱动滚轮为齿轮，该下环内边缘对应设有能与该齿轮啮合的环形齿条，该马达为步进马达。

本发明的有益技术效果是：所述上托架可以放置如小型镀膜工件，也可以固定如汽车轮毂的大型镀膜工件，所述旋转支架通过其下环与驱动滚轮紧配时产生摩擦后，带动该旋转支架转动，从而实现镀膜工件旋转。更进一步，所述驱动滚轮采用齿轮，而该下环对应边缘具有可啮合的齿条，所述马达也采用步进马达驱动。由此实现了所述旋转支架任意控制转动位置，包括正转或反转，以及转动的度数。

附图说明

图1为本发明的轴向剖视图；

图2为本发明的A-A剖视图。

对照以上附图，作如下补充说明：

1——底座        2——穹顶罩

4——滚轮        5——下环

6——直立杆      9——上内环

14——上外环     21——驱动滚轮

22——马达       25——辐条

27——导电槽     28——转动轴

具体实施方式

结合图1和图2，以下作进一步描述：

一种真空镀膜机转动机构，包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达22，该旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座1和安装于该底座的穹顶罩2组成，其中：

1)该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环5，该上托架由上内环9、上外环14和多个辐条25组成，该上内环9固定于该穹顶罩2顶部转动轴28上(所述转动轴28在图1中用虚线标出)，该多个辐条25两端分别连接该上内环9和上外环14，并呈辐射状分布，该上外环14与该下环5之间通过多个并行的直立杆6连接固定，对应该下环的内边缘，该底座设有多个便于该下环5转动的滚轮4；

2)该马达22驱动紧配于该下环5内边缘的驱动滚轮21连带该下环5转动，该驱动滚轮21固定于一个连接轴24的上端，该连接轴24中部固定于该底座1而下端伸出于该底座，并通过安装于该真空腔室外部的该马达22驱动转动。

为了更精确控制该旋转支架转动，该驱动滚轮21为齿轮，该下环5内边缘对应设有能与该齿轮啮合的环形齿条，该马达22为步进马达。

为了完成真空镀膜加工，该穹顶罩侧部还必须设有便于装卸镀膜工件的密封门，此外，该底座上设有靶材和加热机构，该加热机构为可放置该靶材的导电槽27，该导电槽安装于该底座上固定支架，该导电槽两侧通过两导电棒引出于该真空腔室后，分别与一个电源变压器次级绕组两端连接，此外所述真空腔室内需要抽真空设备和对镀膜工件预加热设备，所有这些是真空镀膜必须的技术手段，也是业内人士所公知技术，不是本发明的技术创新，在次不作详细描述。