[发明专利]真空镀膜机转动机构无效
| 申请号： | 201110210063.6 | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN102899617A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 黄水祥 | 申请（专利权）人： | 御林汽配（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215325 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 转动 机构 | ||
1.一种真空镀膜机转动机构，包括旋转支架和驱动该旋转支架旋转的马达(22)，该旋转支架位于真空腔室内，该真空腔室由底座(1)和安装于该底座的穹顶罩(2)组成，其特征在于：其中：
1)该旋转支架包括可固定镀膜工件的上托架以及下环(5)，该上托架中部固定于该穹顶罩(2)顶部转动轴(28)上，该上托架环周与该下环之间通过多个并行的直立杆(6)连接固定，对应该下环的内边缘，该底座设有多个便于该下环(5)转动的滚轮(4)；
2)该马达(22)驱动紧配于该下环(5)内边缘的驱动滚轮(21)连带该下环(5)转动。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机转动机构，其特征在于：该上托架由上内环(9)、上外环(14)和多个辐条(25)组成，该上内环(9)固定于该穹顶罩(2)顶部转动轴上，该多个辐条(25)两端分别连接该上内环(9)和上外环(14)，并呈辐射状分布，该上外环(14)与该下环(5)之间通过多个并行的该直立杆(6)连接固定。
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜机转动机构，其特征在于：该驱动滚轮(21)固定于一个连接轴(24)的上端，该连接轴(24)中部固定于该底座(1)而下端伸出于该底座，并通过安装于该真空腔室外部的该马达(22)驱动转动。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜机转动机构，其特征在于：该驱动滚轮(21)为齿轮，该下环(5)内边缘对应设有能与该齿轮啮合的环形齿条，该马达(22)为步进马达。
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