[发明专利]一种坩埚旋转加热装置

说明书

技术领域

本发明涉及加热装置的技术领域，尤其涉及一种对坩埚加热均匀，温度可控的坩埚旋转加热装置。

背景技术

现有的一种坩埚旋转加热装置对坩埚进行加热时的加热温度一般不均匀，加热后的坩埚质量很不稳定，报废率比较高，同时由于坩埚不规则的外形，使得加热坩埚的加热温度很难控制，有时坩埚的一些部位加热温度已经达到，然而另外一些部位的加热温度却没有达到。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了解决上述背景技术中提到的问题，本发明提供一种坩埚旋转加热装置，它对坩埚的加热比较均匀，温度也比较好控制。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种坩埚旋转加热装置，用于对内表面喷涂有氮化硅的坩埚进行加热，具有底座和安装在底座上的电源箱，底座上端面固定连接有支撑座，支撑座上固定连接有支撑杆，支撑杆上可旋转连接有坩埚旋转台，坩埚旋转台由至少四面的框架并接而成，框架上固定连接有加热板，加热板由铝板和固定连接在铝板上的硅胶板组成。

进一步地：框架与加热板上的铝板之间安装设置有弹簧。

进一步地：铝板与硅胶板由胶水固定连接。

进一步地：铝板的厚度为2～4mm。

进一步地：铝板上安装有接线盒，接线盒上配有热电偶线插孔及电源线进线插孔。

进一步地：铝板是由至少两块铝片并接而成。

本发明的有益效果：本发明的一种坩埚旋转加热装置用于对内表面喷涂有氮化硅的坩埚进行加热，其中的加热板由铝板和固定连接在铝板上的硅胶板组成，硅胶板的热稳定性比较好，加热温度误差比较小，同时框架与加热板上的铝板之间安装设置有弹簧，铝板由至少两块铝片并接而成，所以不规则外形的坩埚在旋转台内旋转过程中，坩埚的凸出部位会将加热板压下去，坩埚的凹陷部位同样可以接触到加热板，这样就使得坩埚加热十分均匀，且温度十分容易控制。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的结构示意图。

图中1、底座，2、电源箱，3、支撑座，4、支撑杆，5、坩埚旋转台，6、框架，7、铝板，8、弹簧。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

如图1所示的一种坩埚旋转加热装置，用于对内表面喷涂有氮化硅的坩埚进行加热，具有底座1和安装在底座1上的电源箱2，底座1上端面固定连接有支撑座3，支撑座3上固定连接有支撑杆4，支撑杆4上可旋转连接有坩埚旋转台5，坩埚旋转台5由至少四面的框架6并接而成，框架6上固定连接有加热板，加热板由铝板7和固定连接在铝板7上的硅胶板组成，硅胶板的热稳定性比较好，加热温度误差比较小。

其中框架6与加热板上的铝板7之间安装设置有弹簧8；铝板7与硅胶板由胶水固定连接；铝板7的厚度为2～4mm；铝板7上安装有接线盒，接线盒上配有热电偶线插孔及电源线进线插孔；铝板7是由至少两块铝片并接而成。不规则外形的坩埚在旋转台内旋转过程中，坩埚的凸出部位会将加热板压下去，坩埚的凹陷部位同样可以接触到加热板，这样就使得坩埚加热十分均匀，且温度十分容易控制。

硅胶板表面加热温度从20℃上升到150℃需要的时间为15～25min，温度误差为±3℃；坩埚旋转台的旋转角度为0～340°，加热板的外翻角度为0～120°，加热板单边可向内调节0～20mm，向外调节0～100mm。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。