[发明专利]一种坩埚旋转加热装置

权利要求书

1.一种坩埚旋转加热装置，用于对内表面喷涂有氮化硅的坩埚进行加热，具有底座(1)和安装在底座(1)上的电源箱(2)，底座(1)上端面固定连接有支撑座(3)，支撑座(3)上固定连接有支撑杆(4)，支撑杆(4)上可旋转连接有坩埚旋转台(5)，坩埚旋转台(5)由至少四面的框架(6)并接而成，框架(6)上固定连接有加热板，其特征在于：所述加热板由铝板(7)和固定连接在铝板(7)上的硅胶板组成。

2.根据权利要求1所述的一种坩埚旋转加热装置，其特征在于：所述框架(6)与加热板上的铝板(7)之间安装设置有弹簧(8)。

3.根据权利要求1所述的一种坩埚旋转加热装置，其特征在于：所述铝板(7)与硅胶板由胶水固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种坩埚旋转加热装置，其特征在于：所述铝板(7)的厚度为2～4mm。

5.根据权利要求1所述的一种坩埚旋转加热装置，其特征在于：所述铝板(7)上安装有接线盒，接线盒上配有热电偶线插孔及电源线进线插孔。

6.根据权利要求1或2或3或4或5所述的一种坩埚旋转加热装置，其特征在于：所述铝板(7)是由至少两块铝片并接而成。