[发明专利]一种单晶硅线切割废砂浆的回收方法

权利要求书

1.一种单晶硅线切割废砂浆的回收方法，其特征在于按照以下步骤进行：

第一步：将废砂浆搅拌加热至75℃～120℃，保温20min～60min，进行固液分离，得到一级悬浮液和一级固体颗粒；

第二步：搅拌加热所述一级悬浮液至40℃～60℃，过滤，得到二级悬浮液和二级固体颗粒；

第三步：将所述二级悬浮液搅拌加热至40℃～75℃，而后使用中空纤维膜进行超滤，得到三级悬浮液和三级固体颗粒；

第四步：将所述三级悬浮液在65℃～90℃下蒸发至无水，得到切割液；

第五步：将所述一级固体颗粒、二级固体颗粒和三级固体颗粒加入水中，超声混匀25min-45min，得到固体颗粒悬浮液；

第六步：将所述固体颗粒悬浮液加入浮选药剂，搅拌12min～45min，静置45min～90min，进行浮选，得到浮选物和沉淀产物；

第七步：将所述浮选物烘干得到碳化硅，同时将所述沉淀产物依次进行酸洗，水洗，烘干后得到硅粉。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅线切割废砂浆的回收方法，其特征在于：所述的固液分离设备采用过滤式离心机或沉降式离心机。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅线切割废砂浆的回收方法，其特征在于：所述的过滤设备采用板框压滤机。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅线切割废砂浆的回收方法，其特征在于：所述的中空纤维膜超滤采用聚丙烯腈中空纤维膜，其截留分子量为67000道尔顿，孔径为0.01微米。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅线切割废砂浆的回收方法，其特征在于：所述的浮选药剂由捕捉剂和起泡剂组成；所述捕捉剂是对碳化硅有选择性的脂肪酸，摩尔终浓度为0.15 mol/L～0.4 mol/L；所述起泡剂为带支链的长链脂肪醇，摩尔终浓度为0.05 mol/L～0.25 mol/L。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅线切割废砂浆的回收方法，其特征在于：所述的捕捉剂为十二烷酸或亚油酸；所述的起泡剂为异丙醇或仲辛醇。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅线切割废砂浆的回收方法，其特征在于：所述的浮选药剂温度为60℃-80℃。

8.根据权利要求1所述的一种单晶硅线切割废砂浆的回收方法，其特征在于：所述的酸洗为使用重量百分比为26%～31%的盐酸水溶液酸洗1～3小时。