[发明专利]晶粒自动包装装置及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种晶粒自动包装装置及其方法，特别是涉及一种用于对装载有晶粒的料盘进行自动化检测、堆叠与束带包装的包装装置及其方法。

背景技术

在集成电路制作流程中，晶圆上的集成电路完成制作后，经过测试与切割晶粒后，通常会依照其测试结果进行分等，而将同一等级的晶粒由晶圆上取下而放置于料盘(tray)中，亦即，每一料盘中的晶粒都是同一等级的晶粒。这些装有同一等级晶粒的料盘，会交由线上操作员进行后续的检测与束带包装作业。

然而，这些后续的检测与束带包装作业，通常需要线上操作员以目视方式一一检验每一料盘内的每一晶粒容置槽中是否有晶粒放置颠倒、晶粒翻覆、没有晶粒(缺料)等异常状况的发生，以及需要线上操作员以手动的方式进行束带包装作业。

然而，上述检测、堆叠与束带包装作业，都是需要线上操作员以目视或手动方式完成，因此，其具有下列缺点：

(1)由于集成电路的规格越做越小，使晶粒的体积也越来越小，而一个料盘内通常会容纳许多晶粒。因此，对于线上操作员来说，以目视方式检查体积极小的晶粒，既使搭配方大镜进行目检，仍然是很困难与吃力的，不但不易看清晶粒放置于料盘内的状态，且非常容易一疏忽就忽略晶粒放置的异常或是漏检的状况。另外，长时间使用眼睛检验细小的晶粒，容易使线上操作员的眼睛疲累，而需要休息才能继续，因此，往往造成检测效能的不彰。

(2)其次，由于束带包装作业，都是需要线上操作员以手动方式进行，因此不但造成人力的大量需求，并且其作业的效能也较为低落，容易造成产出与产能不足的现象。

(3)另外，束带包装作业都是采用人工手动的方式进行，而所操作的对象都是晶粒与料盘等体积不大，容易忽视、翻覆与受损的物品，因此，极容易因为人员的疏忽而打翻或受损。

有鉴于上述问题，因此亟需要一种可以机械自动化的方式取代人工目视检测与手动操作的晶粒自动包装装置与方法，以进行料盘上的晶粒检测及束带包装等作业，而减少人力支出、增进包装的效能、以及避免人员疏失。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种晶粒自动包装装置与方法，其可以机械自动化的方式取代人工目视与手动操作等方式，以进行料盘上的晶粒检测、覆材置放、料盘堆叠及束带包装等作业，而减少人力支出、增进包装的效能、以及避免人员疏失。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种晶粒自动包装装置，包括：一进料模块，用以存放待包装的料盘与取出待包装的料盘以开始进行自动化包装；一检测模块，用以检测待包装料盘内的晶粒是否正确地放置于该料盘中；一异常料盘收集模块，用以收集未通过该检测模块检测的料盘；一堆叠模块，用以放置一覆材于每一通过该检测模块检测的料盘上，并堆叠通过该检测模块检测的料盘至预定的数量，再放置一上盖于该堆叠至预定数量的料盘上，而形成一具有上盖的料盘堆叠；一束带包装模块，用以将该具有上盖的料盘堆叠进行束带包装成一料盘捆包；以及一收料模块，用以收集与存放该料盘捆包。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的晶粒自动包装装置，其中所述的进料模块包括：一储料机构，用以存放待包装的料盘；以及一进料单元，用以将待包装的料盘由该储料机构取出以开始进行自动化包装。

前述的晶粒自动包装装置，其还包括：一横向传送机构，连接该检测模块、该异常料盘收集模块以及该堆叠模块，用以于其间传送料盘以进行检测、分料与堆叠；一入料传送机构，介于该进料模块与该横向传送机构，用以传送由该储料机构中取出的待包装料盘至该横向传送机构；一转向单元，设置于该横向传送机构对应于该入料传送机构的一端，用以使该入料传送机构传来的料盘转向进入横向传送机构，以使料盘由直向移动转向为横向移动；以及一束带传送机构，介于该横向传送机构的一端与该束带包装模块之间，用以该堆叠模块输出的料盘堆叠传送至束带包装模块以进行束带包装。

前述的晶粒自动包装装置，其中所述的检测模块包括：一检测区；以及一晶粒检查单元，用以检查每一通过该检测区的料盘，确认其内是否有晶粒颠倒、翻覆或是缺料状况。